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MikroSystemTechnik Kongress 2023

Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität 23. – 25. Oktober 2023, Dresden

2023, XXVI, 894 pages, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-6203-3, e-book: ISBN 978-3-8007-6204-0
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Content Foreword

Die global steigende Nachfrage nach Halbleitern verdeutlicht, wie wichtig eine intakte Wertschöpfungskette national und international ist. Nirgends sehen wir das deutlicher als im Silicon Saxony, Europas größtem Standort für Mikroelektronik. Wir heißen Sie herzlich willkommen in Dresden, der Landeshauptstadt des Freistaats Sachsen. Hier sind die führenden Universitäten, Hochschulen und Forschungseinrichtungen im Bereich der Mikroelektronik zuhause. Mit den Halbleiter-Fabs von Bosch, Infineon, Globalfoundries, X-Fab und international führenden mittelständischen Unternehmen ist Sachsen ein einzigartiges Ökosystem der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, das zurzeit ca. 70.000 Menschen beschäftigt.

Durch die weltweit fortschreitende Digitalisierung rücken neben der reinen Verfügbarkeit von Halbleitern jedoch auch andere Themen in den Vordergrund: Technologische Souveränität und Vertrauenswürdigkeit in der Mikroelektronik („Trusted Electronics"), Nachhaltigkeitsaspekte („Green ICT") sowie Next Generation Computing seien hier genannt. Um Innovationen in diesen Bereichen zu stärken, hat die Bundesregierung ein entsprechendes Rahmenprogramm Mikroelektronik auf den Weg gebracht. Der MST Kongress 2023 soll starke Impulse geben und zeigen, dass das Erreichen der Klimaziele und sparsamer, effizienter Umgang mit Energie nur durch den Einsatz von Mikrosystemen und Mikroelektronik erreicht werden können.
Der VDE – Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V. ist einer der großen europäischen Verbände für Branchen und Berufe der Elektro- und Informationstechnik. Eine internationale Experten-Plattform für Wissenschaft, Normung und Produktprüfung – interdisziplinär, eng verflochten, und einmalig auf der Welt. Eine geballte Konzentration an Erfahrung, Marktkenntnissen und technologischem Know-how.
1

Structural and electrical characterization of thin cerium-tin oxide heterolayers for hydrogen sensing

Authors:
Alvarado Chavarin, Carlos; Costina, Ioan; Wenger, Christian; Ratzke, Markus; Morales Sanchez, Carlos; Kosto, Yuliia; Flege, Ingo; Fischer, Inga

2

3

Konzepte zur Reduktion des MoS2-Kontaktwiderstandes basierend auf großflächig gewachsenen PEALD-Filmen

Authors:
Willeke, Leander; Becher, Malte J. M. J.; Schmitt, Nils; Jagosz, Julia; Ostendorf, Andreas; Bock, Claudia

4

PowderMEMS – Generic Integration of Functional Three-Dimensional Microstructures on Wafer Level

Authors:
Gojdka, Bjoern; Behrmann, Ole; Bodduluri, Mani Teja; Lisec, Thomas

5

KODIAK: Components and modules for improved optical diagnostics

Authors:
Scholles, Michael; Isserstedt-John, Nicole; Jahn, Martin; Kuhlmeier, Dirk; Lopes, Ana-Leonor Heitor; Reuter, Martin; Saft, Benjamin; Schaefer, Eric; Skadell, Mirjam; Zimmer, Alexander

6

TiN-Si Schottky Diodes for SWIR Detection

Authors:
Augel, Lion; Wen, Hanying; Knobbe, Jens

7

Vektorieller Mikroscannerspiegel mit integrierter Positionssensorik zur schnellen Strahlpositionierung eines Therapielasers

Authors:
Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Birnbaum, Klemens; Pügner, Tino; Grahmann, Jan

8

Simulation und Charakterisierung von dielektrischen MEMS-Spaltwellenleitern für den THz-Bereich

Authors:
Kother, Kristof; Schmitt, Lisa; Barowski, Jan; Hoffmann, Martin; Rolfes, Ilona

9

Transparent microfluidic MEAs with organic electronic ion pumps for in vitro studies of the pathological retina

Authors:
Deubel, Roman; Hegel, Lena; Bolten, Josef; Kauth, Andrea; Ghosh, Eashika; Pachauri, Vivek; Vu, Xuan Thang; Johnen, Sandra; Ingebrandt, Sven

10

Quantifizierung zirkulierender Tumorzellen aus Vollblut mittels Silizium-Mikrochips

Authors:
Knapp, Michael; Heyer, Marvin; Ege, Matthias; Kadić, Samir; Lux, Astrid; Lärmer, Franz; Paust, Nils; Zengerle, Roland; Hoffmann, Jochen

11

Self-Sensing of Piezoelectric Actuators: Integrated Bubble Detection for Reliable Drug Dosing

Authors:
Axelsson, Kristjan; bin Tariq, Arham; Zerbib, Gabriel; Richter, Martin; Kutter, Christoph

12

Improving Needle Insertion Accuracy with Multi-Local Impedance Sensors on a Needle

Authors:
Liu, Jan; Jeong, Yongrok; Ly, Toni J.; Atmaca, Oemer; Park, Inkyu; Pott, Peter P.

13

Sensor for Thread Tension Measurement

Authors:
Schwenck, Adrian; Weimer, Timo; Groezinger, Tobias

14

Prädiktive Modelle für IR-Emitter in der miniaturisierten photoakustischen Gassensorik

Authors:
Essing, Simon; Schrag, Gabriele; Mittereder, Tobias; Tumpold, David

15

16

Photonischer Spektrumanalysator für Terahertz Quellen auf einem Chip oder im Wellenleiter

Authors:
Krause, Benedikt Leander; Mukherjee, Amlan kusum; Preu, Sascha

17

Towards Integrated 3D Microbatteries: Study of LiPON on Porous Electrodes

Authors:
Cipo, Julia; Neubieser, Rahel-Manuela; Moertel, Reinhard; Lisec, Thomas; Michel, Marvin; Lofink, Fabian; Gojdka, Bjoern

18

Manufacturing of a Reluctance Actuator for Use as a Hearing Implant in the MiddleEar

Authors:
Mueller, Eileen; Adamscheck, Marco; Fischer, Eike C.; Glukhovskoy, Anatoly; Prediger, Maren S.; Dencker, Folke; Wurz, Marcus C.

19

Bistable Actuation Based on TiNiHf/Si Shape Memory Nanoactuators

Authors:
Li, Zixiong; Arivanandhan, Gowtham; Curtis, Sabrina M.; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred

20

21

Wearable Smart Patch Sensors for Monitoring Knee Laxity

Authors:
Prakash, Karthika Sheeja; von Einem, Vicky Chantal; Muthulagu, Sabari Kannan; Agarwal, Priyank; Woias, Peter; Comella, Laura Maria

22

Elektrische Spin-Injektion in kantenemittierenden Halbleiterlasern

Authors:
Jung, Natalie; Lindemann, Markus; Ritzmann, Julian; Webers, Samira; Ludwig, Arne; Wieck, Andreas; Salamon, Soma; Wende, Heiko; Gerhardt, Nils. C.; Hofmann, Martin R.

23

24

Design of an optically pumped magnetometer based on hot atomic vapor targeted at medical diagnostics

Authors:
Neufeld, Philipp; Riedrich-Moeller, Janine; Fuchs, Tino; Wickenbrock, Arne; Budker, Dmitry

25

Place and bend assembly of photonic modules

Authors:
Grueger, Heinrich; Knobbe, Jens; Koch, Sandro G.; Schulz, Marlon; Sdrenka, Sebastian; Ziegmann, Gerhard

26

Magnetische Streufeld-basierte 2D-Rotationsbestimmung für einen Mikroaktor mit großer Auslenkung

Authors:
Farny, Mario; Olbrich, Michael; Schütz, Arwed; Ament, Christoph; Bechtold, Tamara; Hoffmann, Martin

27

Piezoelektrische MEMS-Aktuatoren basierend auf ferroelektrischen Aluminium-Scandium-Nitrid Doppellagen

Authors:
Kreutzer, Tom-Niklas; Stoppel, Fabian; Fichtner, Simon; Ghori, Muhammad Zubair; Lofink, Fabian

28

Verwendung von Siliziumdehnungssensoren für makroskopische Prüfkörper

Authors:
Frank, Thomas; Hermann, Stefan; Grün, André; Hanig, Danny; Kermann, Manuel; Hintz, Michael; Cyriax, Andrea; Röder, Ralf; Krieger, Uwe

29

Herstellung hauchdünner, bleifreier Bariumtitanat-Piezokeramik mittels Inkjet Printing

Authors:
Ketterer, Ines; Yang, Cheng-Kang; Cimen, Emine; Wapler, Matthias; Hanemann, Thomas

30

Finger position sensing on curved surfaces in braille displays

Authors:
Alaboz, H.; Sittkus, B.; Muley, D.; Mescheder, U.

31

Simulation and evaluation of resonant magnetoelectric sensors based on TiN/AlN/Ni thin films

Authors:
Petrich, Rebecca; Katzer, Simeon; Haehnlein, Bernd; Krey, Maximilian; Toepfer, Hannes; Krischok, Stefan; Kuhnen, Raphael; Fruehauf, Dietmar; Tonisch, Katja

32

Real-time Dynamic Light Scattering of Nanoparticles for Analysis in Microfluidic Systems

Authors:
Bausch, Cornelius S.; TaiediNejad, Ebrahim; Wittek, Joern; Dietzel, Andreas; Bassler, Michael

33

Integration of film-based sensor technology in additively manufactured components

Authors:
Basten, Robin G.; Bengsch, Sebastian; Wurz, Marc C.

34

Hydrogen Release from PECVD Thin Films in MEMS Cavities

Authors:
Dani, Prafullkrishna Kiran; Franz, Jochen; Knoch, Joachim

35

Design of an energy-autonomous sensor with wireless data data transmission for use on rollers

Authors:
Buerger, Andreas; Simon, Sylvio; Hernschier, Stephan

36

Modular and compact interferometric fiber optic gyroscope configuration for high precision rotary motion

Authors:
Janeczka, C.; von Ravenstein, M.; Al-Shami, A.; Zamora, Vanessa; Schroeder, H.

37

Integration of LTCC into Printed Circuit Boards for Trustworthy Electronics

Authors:
Schroeter, Annett; Krieger, Uwe; Lehnberger, Christoph; Uhlig, Peter; Goldberg, Adrian

38

CyBarKeeper: Design and implementation of a high-resolution haptic sensor system for a robotic gripper using embedded machine learning algorithms

Authors:
Rossbach, Daniel; Konegen, Daniel; Rueb, Marcus; Willmann, Alexander; Kuderer, Markus; Rietsche, Hansjörg; Amft, Oliver

39

Structural Integration of Smart Sensors for the Industrial Internet of Things

Authors:
Beyer, Volkhard; Mayer, Dirk; Haiduk, Frank; Meinig, Marco; Wittemeier, Steffen; Geneiss, Volker; Meissner, Philipp; Weder, Andreas; Werner, Thomas; Steller, Wolfram; Zorn, Wolgang

40

Long-term and thermal shock stability of high-temperature pressure and force sensors

Authors:
Ghanam, Muhannad; Woias, Peter; Goldschmidtboeing, Frank

41

Reactive bonding of an integrated CMOS strain sensor to steel by using hard and soft solders

Authors:
Schumacher, Axel; Meyer, Peter; Buschbeck, Georg; Pflug, Erik; Boettcher, Julius; Knappmann, Stephan; Hehn, Thorsten; Dehe, Alfons

42

43

Electric-Field-Assisted Printing Technology for Enhanced Patterning of Micro- and Nanostructures

Authors:
Philippin, Nadine; Kuehne, Ingo; Schrag, Gabriele

44

Sensor Tag in Chip-Film Patch Technology

Authors:
Kuebler, M.; Epple, S.; Passlack, U.; Albrecht, B.; Harendt, C.; Burghartz, J. N.

45

In-situ SEM Analysis Tool for Stretchable Metal-Elastomer-Laminate-Membranes for Flexible Sensors

Authors:
Sittkus, Benjamin; Urban, Gerald; Mescheder, Ulrich

46

Hardware Implementation of Reflective Intelligent Surfaces for 6G communication networks

Authors:
Stoecker, Robert; Koeszegi, Julia-Marie; Kaiser, Michael; Ndip, Ivan

47

Evaluation of a modular microsystem structure for sensor-integrating machine elements

Authors:
Gomberg, I.; Breimann, R.; Kuechenhof, J.; Kirchner, E.; Krause, D.; Trieu, H. K.

48

Wrinkle-free bonding of thin membranes in a microfluidic bioreactor

Authors:
Schmidt-Speicher, Leona M.; Metzger, Christian; Ahrens, Ralf; Mager, Dario; Guber, Andreas E.; Korvink, Jan G.

49

50

Implantable Thermoelectric Generator with High Aspect Ratio Thermolegs and Integrated Voltage Converter

Authors:
Rao, Yongchen; Voss, Matthias; Bechthold, Tamara; Hohlfeld, Dennis

51

Sputtered TiAl-Monolayers: Optimization of Thickness Uniformity and Stress over Target Lifetime

Authors:
Weller, Stephanie; Doering, Sebastian; Schumann, Erik; Nguemegne, Ghislain Ntokap

52

Thin Film Under Bump Metallization for Wafer Level Packaging

Authors:
Knechtel, Roy; Seyring, Martin; Wenig, Micaela; Goebelt, Manuela; Thiedke, Dominik; Goetz, Volker

53

Kompakter Nanoindenter mit integrierten Weg- und Kraftsensoren

Authors:
Frank, Thomas; Hermann, Stefan; Grün, André; Hanig, Danny; Kermann, Manuel; Wünscher, Heike; Font, Georg; Zenone, Luca

54

55

Monolithic integration of permanent magnets in SOI-based micro-mechanisms

Authors:
Schmitt, Philip; Gojdka, Bjoern; Lisec, Thomas; Ziegler, Florian; Orlandini-Keller, Frederico; Devillers, Thibaut; Dempsey, Nora M.; Hoffmann, Martin

56

Energy dispersive X-ray spectroscopy and spectroscopic ellipsometry for the investigation of ScAlN for applications in microsystems technology

Authors:
Petrich, Rebecca; Honig, Hauke; Slimi, Younes; Steinacker, Lorenz; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Gloess, Daniel; Kuhnen, Raphael; Fruehauf, Dietmar; Schaaf, Peter; Krischok, Stefan; Tonisch, Katja

57

Manufacturing of dielectric elastomer transducers using 3D printing

Authors:
Hubracht, Andreas; Maas, Juergen

58

A novel method to characterize the correlation between gas diffusion and sodium contamination of anodic bonding

Authors:
Zhang, Yucheng; Solazzi, Francesco; Schiffer, Michael; Schreiber, Kai; Cselyuszka, Norbert; Andrianov, Nikolai; Sorschag, Kurt; Aschauer, Elmar; Lang, Klaus-Dieter

59

Coplanar Si architecture for chemiresistive hydrogen gas sensor

Authors:
Singh, Karanvir; Sharma, Ashutosh; Mager, Dario; Korvink, Jan G.; Sharma, Bharat

60

Improving the recyclability of printed electronics

Authors:
Janek, Florian; Brasse, Yannic; Kraus, Tobias; Emmerechts, Carl; Clanet, Jean.Michel; Grymonprez, Benoit; Groezinger, Tobias; Glaeser, Kerstin

61

Analysis of the Coupling Mechanism between Airborne MEMS Ultra-sonic Transducers and Ultrasonic Horns

Authors:
Bosetti, Gabriele; Hofstetter-Spona, Stefan; Schrag, Gabriele

62

Three-dimensional folded MEMS manufacturing for an efficient use of area

Authors:
Becker, Dennis; Bittner, Achim; Dehe, Alfons

63

64

Characterization of TEOS-based SiO2 for integrated photonics

Authors:
Vermeer, Matthias L.; Trieu, Hoc Khiem; Lipka, Timo

65

Energy Requirement and Energy Management for an Active Implant

Authors:
Mueller, Sonja; Mescheder, Ulrich

66

RFID sensor transponder with antiferroelectric embedded thin film capacitors

Authors:
Heinig, Andreas; Viegas, Alison E.; Weder, Andreas; Czernohorsky, Malte

67

First Characterization of Comb Drive BasedMicro Mirror Arrays

Authors:
Nitzsche, Mario; Bajpai, Anuroop; Duerr, Peter; Neudert, Andreas; Pranti, Anmona Shabnam

68

Laser-assisted bonding between silicon and glass for the production of hermetic packages

Authors:
Koch, Jannik; Brinkmann, Levin M.; Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Wurz, Marc C.

69

On-Chip-Brechungsindexsensoren auf der Grundlage plasmonischer TiN-Nanoloch-Arrays

Authors:
Sengül, Akant; Reiter, Sebastian; Han, Weijia; Mai, Christian; Spirito, Davide; Jose, Josmy; Fursenko, Oksana; Wenger, Christian; Fischer, Inga A.

70

Sputtered FeCoB Soft Magnetic Thin Films for Surface Acoustic Wave Sensors

Authors:
Meyer, Jana Marie; Ghori, Muhammad Zubair; Rickers, Matthias; Fichtner, Simon; Bodduluri, Mani Teja; Blohm, Lars; Yarar, Erdem; Giese, Thorsten; Lofink, Fabian

71

Großflächiges polykristallines Wachstum von Molybdändisulfid auf 200 mm Glaswafern für die Integration in einem 2D pH-Sensorsystem

Authors:
Jagosz, Julia; Willeke, Leander; Becher, Malte; Ostendorf, Andreas; Bock, Claudia

72

Additive Fertigung von Ti6Al4V-Bauteilen für Anwendungen in der Medizintechnik

Authors:
Hanemann, T.; Antusch, S.; Nötzel, D.; Eickhoff, R.

73

Membranlose Drucksensorenfür den Einsatzbereich über 1000 MPa

Authors:
Frank, Thomas; Hermann, Stefan; Grün, André; Hanig, Danny; Kermann, Manuel; Hintz, Michael; Cyriax, Andrea

74

Optical dew point sensor with integrated primary electronics based on silicon-ceramic composite technology

Authors:
Handte, Thomas; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Keil, Peter; Sinzinger, Stefan

75

Design and fabrication of a metalens for shaping the light of quantum dot based light emitting diodes

Authors:
Grossmann, Toni D.; Moebius, Martin; Hartmann, Susanne; Meinecke, Christoph Robert; Martin, Joerg; Reuter, Danny; Kuhn, Harald

76

OLED-on-Silicon for microdisplays in near-to-eye applications and optoelectronic sensing

Authors:
Wartenberg, Philipp; Richter, Bernd; Baumgarten, Judith; Fritscher, Andreas; Brenner, Stephan; Lenk, Simone; Damnik, Steffen; Rolle, Martin; Zeltner, Johannes; Schmidt, Christian; Muetze, Josephine; Schlebusch, Dirk; Fehse, Karsten; Toerker, Michael; Schuster, Florian; Vogel, Uwe

77

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Mikromechanische Zugversuche auf Chip-Level

Authors:
Schmitt, Philip; Buschheuer, Maria; Hoffmann, Martin

80

Automatic wafer probing of photonic integrated circuits with thermal tuning and permanent trimming functions

Authors:
Lipka, Timo; Vermeer, Matthias L.; Rennpferdt, Lukas; Alhareeb, Nadeem K.; Gomberg, I.; Trieu, Hoc Khiem

81

Application of Mathematical Inverse Analysis in MEMS Testing

Authors:
Mueller, Juergen; Heringhaus, Monika; Messner, Dominik; Northemann, Thomas

82

Correlative surface characterization micro-electro-mechanical-systems

Authors:
Kabbe, Maximilian H.; Korvink, Jan G.; Thelen, Richard; Brandner, Juergen J.

83

Design and evaluation of a discrete assembled frontend for an industrial quantum sensor

Authors:
Dorneich, Albert; Boeckenhoff, Christoph; Hof, Nick

84

Nanosized vacuum gap electromechanical devices with integrated piezoelectric actuator

Authors:
Ignat, Ioan; Arvidsson, Elisabet; Roos, August; Scarano, Ermes; Haviland, David; Platz, Daniel; Schmid, Ulrich

85

Integration eines ferroelektrischen Speichermoduls in das BEoL der XFAB XT018 Technologiezur Realisierung von 1T1C-FeFETs

Authors:
Lehninger, David; Seidel, Konrad; Sünbüll, Ayse; Kämpfe, Thomas; Schöne, Fred; Mähne, Hannes; Bernert, Kerstin; Thiem, Steffen; Lederer, Maximilian

86

87

Towards Heterogeneous Integration of InP on Si via Micro Transfer Printing by direct adhesion

Authors:
Anand, Ketan; Steglich, Patrick; Kreissl, Jochen; Zimmermann, Lars; Mai, Andreas

88

Ceramic Multilayer Technology As Integration Platform And Interposer Technology

Authors:
Goldberg, A.; Ziesche, S.; Ihle, M.; Pandey, P.; Manhica, B.; Reinhardt, K.; Koerner, S.

89

Modelling and process development of ceramic heat transfer layers for ignition of integrated reactive multilayer systems

Authors:
Vogel, Klaus; Schermer, Sebastian; Helke, Christian; Zimmermann, Sven; Reuter, Danny

90

Passive micro check valves in glass manufactured by selective laser etching

Authors:
Bohne, Sven; Laha, Sibashish; Trieu, Hoc Khiem

91

Reaktives Ionenätzen von Silikatgläsern für optische Mikrosysteme

Authors:
Weigel, Christoph; Brokmann, Ulrike; Hofmann, Meike; Behrens, Arne; Rädlein, Edda; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen

92

Demonstration of wafer-level integrated permanent bias micromagnets for magnetic field sensors

Authors:
Ziegler, Florian; Cichon, Daniel; Stahl-Offergeld, Markus; Schroeder, Dominik; Clausen, Niels; Hedayat, Christian; Hohe, Hans-Peter; Lisec, Thomas; Gojdka, Bjoern

93

Fluid-independent flow sensor using a combination of thermal flow sensor and vibronic density sensor

Authors:
Huber, Christof; Bernhardsgruetter, Ralf; Dorsch, Juergen; Giger, Marcel; Schraner, Fabio; Schab, Sandro; Hepp, Christoph

94

Manufacturing and Characterization of Piezoelectric Force Sensor Arrays for Investigation of Ultrasonic Wire Bonding

Authors:
Arndt, Matthias; Long, Yangyan; Hu, Chengyan; Dencker, Folke; Twiefel, Jens; Wurz, Marc Christopher

95

Eine minimalinvasive Blatt-Küvette für VOC-Messungen an Buchen

Authors:
Frey, Yasmina; Haberstroh, Simon; Werner, Christiane; Wallrabe, Ulrike

96

97

Challenges in Realizing Silver Sintered Flip-Chip Interconnects for High Temperature Sensor Systems

Authors:
Raemer, Olaf; Weber, Constanze; Hutter, Matthias; Spanier, Malte; Ostmann, Andreas; Schneider-Ramelow, Martin

98

Innovative Fabrication of Polymer-Based Sensor Systems by Flip-Chip Integration of Ultrathin Chips Using Nanowires for Medical Applications

Authors:
Passlack, Ulrike; Albrecht, Bjoern; Harendt, Christine; Weissenborn, Florian; Quednau, Sebastian; Burghartz, Joachim N.

99

Hermetic packaging for photonic integrated circuits on glass interposers

Authors:
Weber, Daniel; Kroehnert, Kevin; Kirsch, Oliver; Schoening, Niklas; Ambrosius, Norbert; Schroeder, Henning; Schiffer, Michael; Schneider-Ramelow, Martin

100

Technische Machbarkeitsstudie zur Massiv-Parallelen Montage und Verbindung von Mikro-LEDs

Authors:
Manier, Charles-Alix; Zoschke, Kai; Oppermann, Hermann

101

102

Simulation-based Design of a Magnetostrictive Middle Ear Actuator

Authors:
Adamscheck, Marco; Fischer, Eike; Mueller, Eileen; Glukhovskoy, Anatoly; Prediger, Maren S.; Dencker, Folke; Wurz, Marc C.

103

104

Design and Analysis of a Mechanical XOR Gate Based Zero Power Device

Authors:
Jing Yap, Kar; Bohne, S.; Trieu, H. K.

105

Efficient Wireless Power Transfer System for a Moving Receiver

Authors:
Rodriguez Carrillo, Miguel Angel; Mill, Simon; Birkmann, Bernhard; Menz, Gerold; Wallrabe, Ulrike

106

Zwei-Photonen Polymerisation mittels monolithisch modenkoppelnden Diodenlasern

Authors:
Surkamp, Nils; Behlau, Felix; Zhong, Wangyang; Wohlfeil, Shulin; Knigge, Andrea; Esen, Cemal; Hofmann, Martin R.

107

108

Mikromechanische Konstantkraft-Mechanismen

Authors:
Thewes, Anna Christina; Hoffmann, Martin

109

Concept for a MEMS-based GC Chip as a Part of an Easy-to-Use Handheld System

Authors:
Graf, Alexander; Hild, Olaf R.; Zeh, Gina; Sauerwald, Tilman; Buecking, Mark

110

The ForTune Toolbox: Building Solutions for Condition-Based and Predictive Maintenance Focusing on Retrofitting

Authors:
Assafo, Maryam; Lautsch, Martin; Suawa, Priscile; Jongmanns, Marcel; Huebner, Michael; Reichenbach, Marc; Brockmann, Carsten; Reinhardt, Denis; Langendoerfer, Peter

111

112

113

Solving Partial Differential Equations with Monte Carlo / Random Walk on an Analog-Digital Hybrid Computer

Authors:
Killat, Dirk; Koeppel, Sven; Ulmann, Bernd; Wetzel, Lucas

114

Performance Comparison of MR Sensors on Silicon and Bare PEEK (Polyether Ether Ketone) Wafers

Authors:
de Wall, Sascha; Bierwirth, Tim Nils; Wurz, Marc Christopher; Bengsch, Sebastian

115

PCB-printing and assembly with a multi-tool industrial six-axis robot

Authors:
Wendt, Thomas M.; Wiesner, Aron; Gawron, Philipp; Stiglmeier, Lukas

116

117

Microtechnological Production of Integrated Optical Gratings Using Laser Beam Lithography for Atomic Interferometers

Authors:
de Wall, Sascha; Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Wurz, Marc Christopher

118

Entwicklung von piezoelektrisch betriebenen quasi-statischen 2D MEMS-Spiegeln mit extrem hohem FoV für scanning LiDAR

Authors:
Raschdorf, Paul; Hwang, Jeong-Yeon; Wysocki, Lena; Wen, Lianzhi; Albers, Jörg; Wille, Gunnar; Yarar, Erdem; Gu-Stoppel, Shanshan

119

Big Data Analytics as a step-change for MEMS Development and Manufacturing

Authors:
Bierwagen, Katharina; Klein, Carsten; Markanday, Akshay; Braun, Markus; Heringhaus, Monika

120

Laser-Assisted Positioning for Vertical Pull-Off Tests

Authors:
Simon, Nicolai; Hofmann, Nico; Ho, Chi-Nghia; Bucher, Volker

121

122

Fabrication Method and Characterization of Molded Interconnect Device Micro Transformer in Planar Form by Embedding Sintered Ferrite Cores

Authors:
Bierwirth, Tim N.; Fischer, Eike C.; Prediger, Maren S.; Le, Trong M.; Dencker, Folke; Wurz, Marc C.

123

Highly Conductive Thermally Reduced Graphene Oxide Films via Transition Metal Catalyzed Graphitization

Authors:
Niemann, Leonhard; Gruschwitz, Markus; Sellge, Gabriel; Koehne, Martin; Hellwig, Olav; Tegenkamp, Christoph

124

Thermal annealing of Nb2O5 and Ta2O5 thin films for CMOS based chemical sensors

Authors:
Al-Falahi, Falah; Beale, Christopher; Kurth, Eberhard; Reinig, Peter; Hild, Olaf R.

125

Niedrigausdehnende Gläser für mikromechanische Anwendungen

Authors:
Weigel, Christoph; Cherkasova, Valeriya; Holz, Mathias; Fröhlich, Thomas; Strehle, Steffen

126

Inductive sensor with integrated components

Authors:
Sirkeci, Dincer; Maass, Uwe

127

Entwicklung einer KI-basierten Prozessoptimierung in einer vertrauenswürdigen verteilten Fertigung über die gesamte Prozesskette

Authors:
Voges, S.; Becker, K.-F.; Fruehauf, P.; Heimann, M.; Nerreter, S.; Blank, R.; Erdmann, M.; Gottwald, S.; Hofmeister, A.; Lopuszanski, P.; Hesse, M.; Thies, M.; Mehrafsun, S.; Fust, R.; Beck, E.; Becicka, M.; Pawlikowski, J.; Schröder, B.

128

Gleichzeitige Extraktion von extrazellulären Vesikeln und zellfreier DNA aus einer einzigen Blutprobe durch zentrifugale Mikrofluidik

Authors:
Mahmodi Arjmand, Ehsan; Schlenker, Franziska; Grether, Gustav; Troung, Truong-Tu; Hutzenlaub, Tobias; Zengerle, Roland; Paust, Nils; Lüddecke, Jan; Juelg, Peter

129

Surface Passivated Porous Silicon-Based Antireflective Coating

Authors:
Keshavarzi, S.; Kovacs, A.; Mescheder, U.

130

131

Submicron alignment accuracy of frontside to backside lithography for MEMS applications

Authors:
Langa, Sergiu; Urban, Marco; Herrmann, Andreas; Schumann, Erik; Kleye, Albrecht; Monsalve Guaracao, Jorge Mario; Wagner, Maximilian; Kaiser, Bert

132

Recovery Methods of Gallium NitridePlasma Etch Damage

Authors:
Claus, Tobias; Regensburger, Stefan; Erlbacher, Tobias

133

Numerical study of geometry variations in a balanced MEMSloudspeaker

Authors:
Wall, Franziska; Langa, Sergiu; Schenk, Hermann A. G.; Melnikov, Anton; Monsalve, Jorge M.; Kaiser, Bert

134

135

Liquid Cooling of PCB-Assembeld CMOS Biosensor Arrays

Authors:
Lausen, Timo; Al Ashrafani, Mohamad; Thewes, Roland

136

137

138

139

Overcoming Thermoviscous Effects: Design and Fabrication of Microacoustic Metagratings for Anomalous Refraction at Ultra-High Frequencies

Authors:
Melnikov, Anton; Koeble, Soeren; Schweiger, Severin; Chiang, Yan Kei; Marburg, Steffen; Powell, David A.

140

141

Digital Microfluidics for the Investigation of Reaction Kinetics at Liquid-Liquid Interfaces

Authors:
Wagner, Jan; Fiukowski, Oliver; Pich, Andrij; Schnakenberg, Uwe

142

Bovine Oocyte Characterization by Microfluidic Aspiration-Assisted Electrical Impedance Spectroscopy

Authors:
Cao, Yuan; Fries, Ann-Selina; Granacher, Olav; Floehr, Julia; Wrenzycki, Christine; Schnakenberg, Uwe

143

144

MEMS-on-CMOS-Integration of Spatial Light Modulator for Holographic MR/AR Applications

Authors:
Doering, Sebastian; Recknagel, Patrick; Hohle, Christoph; Duerr, Peter

145

Double-sided measurement of defect density on through-structured wafers before wafer level bonding

Authors:
Langa, Sergiu; Bornhorst, Kirstin; Urban, Marco; Scharnweber, Michael; Doleschal, Wolfgang; Rieck, Andreas; Tille, Christian; Weise, Juliane; Kaiser, Bert

146

Tiny Machine Learning Sensor Platform for Local Sensor Data Fusion and Evaluation

Authors:
Fraidling, Florens; Hochreiter, Christian; Heinrich, Ferdinand; Rieger, Florian; Wenninger, Franz

147

148

Herstellung zuverlässiger elektrischer und optischer Verbindungen für Siliziumnitrid-Photonik mittels Thermokompressionsbonden

Authors:
Blasl, Martin; Namdari, Maysam; Fröhlich, Juliane; Oppermann, Herrmann

149

Ultrasonic Energy Harvesting and Communication ASIC for Sensor-Integrated Machine Elements

Authors:
Korner, Dominic; Riehl, David; Hofmann, Klaus

150

Development of a Shielding Box for Through-Facade Coupler (TFC) Evaluation

Authors:
Jahanbakhshi, Alireza; Tian, Zhenming; Bolz, Thomas; Hildenhagen, Peter; Erni, Daniel; Rennings, Andreas

151

Ion beam technology for thin piezoelectric films

Authors:
Nestler, Matthias; Schulze, Andrea

152

Gecko-Effekt: Die neue Art der Mikromontage

Authors:
Stabel, Yolanda; Koltes, Kathi; John, Stefan

153

Influence of different ketones on the spectra of a MEMS FAIMS-chip

Authors:
Funke, Nils; Graf, Alexander; Hild, Olaf R.; Schoenfelder, Jessy; Scholles, Michael

154

Enhancing the 3D Patterning of MEMS – An Extended Toolbox

Authors:
Rennpferdt, Lukas; Bohne, Sven; Trieu, Hoc Khiem

155

3D FEM simulation of stress evolution induced during sintering in silicon-ceramic composite substrates

Authors:
Salimitari, Parastoo; Guenther-Mueller, Sarah; Strehle, Steffen

156

Setup of an ultra-high vacuum bonder for the encapsulation of quantum systems

Authors:
Droesem, Niklas; Petring, Julian; Hadeler, Steffen; Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Wurz, Marc C.

157

158

Development of a process technology for the local generation of high temperatures in monocrystalline silicon

Authors:
Mueller, Michel; Grueger, Heinrich; Grasshoff, Thomas; Owe, Wolf-Dietrich

159

Electro-optical co-integration platform for high-density hybrid systems – SILHOUETTE

Authors:
Weyers, David; Catuneanu, Mircea-Traian; Lapteva, Margarita; Vibhuti, Vinya; He, Menglong; Boenhardt, Sascha; Landwehr, Matthias; Fell, Johann; Nieweglowski, Krzysztof; Jamshidi, Kambiz; Bock, Karlheinz

160

Replikative Herstellung von Metallformen für die Polymerreplikation mit geringer Oberflächenrauhigkeit

Authors:
Kluck, Sebastian; Hambitzer, Leonhard; Luitz, Manuel; Mader, Markus; Sanjaya, Mario; Balster, Andreas; Kotz-Helmer, Frederik; Rapp, Bastian E.

161

Influence of a Novel Solid Thermal Isolation Material for Mems on Thermopile Sensitivity and Dynamic Response of a Mems Flow Sensor

Authors:
Behrmann, Ole; Lisec, Thomas; Billat, Sophie; Dehe, Alfons; Gojdka, Bjoern

162

163

Technologien mit hohem Aspektverhältnis für Vibrationssensoren mit großer Bandbreite, hoher Empfindlichkeit und geringem Rauschen

Authors:
Kuenzel, Petra; Forke, Roman; Hiller, Karla; Schwarz, Uwe; Ziegenhardt, Roman; Voigt, Sven; Weidlich, Sebastian; Shaporin, Alexey; Hahn, Susann; Küchler, Matthias; Kuhn, Harald

164

Direct-Deposited Thin-film Strain Gauges for High-temperature Applications

Authors:
Ottermann, Rico; Kyoushi, Niklas; Wurz, Christopher

165

Integrated Ion-Sensitive Field-Effect Transistor Using CMOS-Based Technology

Authors:
Beale, Christopher; Al-Falahi, Falah; Kurth, Eberhard; Kunath, Christian; Bott, Patrick; Hild, Olaf R.

166

Continuous monitoring of the dynamic viscosity of bitumen with piezoelectric MEMS sensors

Authors:
Alasatri, S.; Schneider, M.; Mirwald, J.; Hofko, B.; Schmid, U.

167

Development of a Thermal Flow Sensor Based on the Ensinger Microsystems Technology

Authors:
Bengsch, Sebastian; Buelau, Andre; Knoeller, Andrea; Kible, Volker; Walter, Daniela; Helm, David; Petillon, Simon; Eberhardt, Wolfgang; Fritz, Karl-Peter; Bur, Stefan; Werner, Michael; Henne, Christian; Wochele, Matthias

168

Enhanced Bi-Directional SMA Actuation of Origami-Inspired Microstructures

Authors:
Seigner, Lena; Gottwald, Vincent; Bumke, Lars; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred

169

Modeling, Manufacturing and Characterization of Electrostatic Actuators towards Electrostatic Silicon MEMS-Micropumps

Authors:
Anheuer, Daniel; Leistner, Henry; George, Brinda; Roehl, Siegfried; Richter, Martin; Kutter, Christoph

170

A Bistable Actuator Based on Antagonistic Buckling SMA Beams

Authors:
Chen, Xi; Bumke, Lars; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred

171

Cantilever Free Magnetic Actuation for Multistable Vertical Displacement

Authors:
Weber, Pascal M.; Schuetz, Arwed; Bechtold, Tamara; Wallrabe, Ulrike

172

Verkippte Konstantkraft-Dreiecksfedern für weitauslenkende elektrostatische Aktoren

Authors:
Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin

173

174

175

Strombedarf und Carbon Footprint der IKT in Deutschland bis 2033

Authors:
Nissen, Nils F.; Stobbe, Lutz; Schulz, Adelja; Chisolm, Conrad; Proske, Marina; Billaud, Mathilde; Druschke, Jan

176

Towards Integrated Tamm Plasmon-Polariton Thermal Emitters

Authors:
Puehringer, Gerald; Jakoby, Bernhard

177

Ion beam technology for thin piezoelectric films

Authors:
Nestler, Matthias; Schulze, Andrea

178

3D FEM simulation of stress evolution induced during sintering in silicon-ceramic composite substrates

Authors:
Salimitari, Parastoo; Guenther-Mueller, Sarah; Strehle, Steffen

179

RFID sensor transponder with antiferroelectric embedded thin film capacitors

Authors:
Heinig, Andreas; Viegas, Alison E.; Weder, Andreas; Czernohorsky, Malte

180

Towards Integrated 3D Microbatteries: Study of LiPON on Porous Electrodes

Authors:
Cipo, Julia; Neubieser, Rahel-Manuela; Moertel, Reinhard; Lisec, Thomas; Michel, Marvin; Lofink, Fabian; Gojdka, Bjoern

181

ZuSE-KI-mobil: Platform for Energy Efficient AI-Processors in Mobile Applications

Authors:
Voegel, Hans-Joerg; Becker, Juergen; Benndorf, Jens; Bierzynski, Kay; Blume, Holger; Fettweis, Gerhard; Friedrich, Martin; Friedrich, Simon; Grantz, Darius; Hoefer, Julian; Kempf, Fabian; Lueders, Matthias; Teepe, Gerd