Reaktives Ionenätzen von Silikatgläsern für optische Mikrosysteme
Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress
10/23/2023 - 10/25/2023 at Dresden, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2023
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Authors:
Weigel, Christoph; Brokmann, Ulrike; Hofmann, Meike; Behrens, Arne; Rädlein, Edda; Sinzinger, Stefan (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Ilmenau, Deutschland)
Hoffmann, Martin; Strehle, Steffen (Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Bochum, Deutschland)
Abstract:
Wir geben einen Überblick über das Potenzial der plasmabasierten Ätztechnologie für die Herstellung mikrooptischer Komponenten und Systeme. Reaktives Ionenätzen (RIE) in Kombination mit lithografischer Strukturierung ist eine langjährig etablierte Technologie auf dem Gebiet der Mikro- und Nanofabrikation. Es werden Ergebnisse und Strategien gezeigt und diskutiert, die ein besseres Verständnis der Material- und Prozesswechselwirkung sowie bzgl. der Anforderungen bei mikrooptischen Anwendungsszenarien befördern sollen. Innovative Wege hin zur Implementierung von 3D-Funktionalitäten sowie für die Strukturierung von chemisch und strukturell inhomogenen Substraten auf Silikatbasis werden diskutiert.