Niedrigausdehnende Gläser für mikromechanische Anwendungen

Abstract:
In diesem Beitrag wird niedrigausdehnendes Glas für den Einsatz in mikromechanischen Systemen untersucht. Ausgehend von einem reaktiven Ionenätzprozess mit einer hohen Selektivität von 26 und nahezu vertikalen Seitenwänden (Flan-kenwinkel zwischen 88 Grad und 89 Grad) wurden Mikrobiegebalken mit einer Dicke von ca. 120 µm hergestellt, charakterisiert sowie metrologisch im statischen und dynamischen Fall untersucht. Fertigungsbezogene Simulationsmodelle mit Einflussgrößen aus der Aufbau- und Verbindungstechnik erlauben hierbei eine sehr gute Vorhersage des Systemverhalten sowohl im statischen als auch im dynamischen Betrieb (Abweichungen von ± 5 % bzw. ± 12 %), was den Einsatz dieser Materialklasse und das zugehörige Systemdesign erleichtert.