Verkippte Konstantkraft-Dreiecksfedern für weitauslenkende elektrostatische Aktoren

Abstract:
steif sein. Wir stellen dreieckige Federn mit einem voreingestellten Kippwinkel vor. Ein passend eingestellter Kippwinkel bewirkt eine konstante Kraftreaktion. Experimentell charakterisierte gekippte Dreiecksfedern weisen in einem Auslen-kungsbereich von etwa 100 µm bis 250 µm konstante Kräfte auf. Bei der gekippten Dreiecksfeder verschiebt sich die maximale Selektivität zu größeren Auslenkungen. Somit können die gekippten Dreiecksfedern die Seitenstabilität von Kammaktoren erhöhen. Ein experimentell charakterisierter Kammaktor, der von gekippten Dreiecksfedern mit Konstant-kraft geführt wird, erreicht eine Auslenkung von 72 µm bei 28 V.