Tuning der Schwellspannung und Kanalmobilität von Galliumnitrid-MOSFETs mittels Abscheidetemperatur des Gate-Dielektrikums

Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress
10/23/2023 - 10/25/2023 at Dresden, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2023

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

Authors:
Henn, Mirjam (Robert Bosch GmbH, Advanced Technologies and Micro Systems, Renningen, Deutschland & Universität Bremen, Institut für elektrische Antriebe, Leistungselektronik und Bauelemente, Bremen, Deutschland)
Huber, Christian (Robert Bosch GmbH, Advanced Technologies and Micro Systems, Renningen, Deutschland)

Abstract:
Metall-Oxid-Halbleiter Feldeffekt-Transistoren (MOSFETs) wurden auf heteroepitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumwafern hergestellt. Es wurde gezeigt, dass die Abscheidetemperatur des Gate-Dielektrikums das Transistorver- halten grundlegend beeinflusst. Die Anpassung der Abscheidetemperatur unterbzw. über die GaN-Zersetzungstemperatur führte zu einer Änderung der Kanalmobilität von 17 bis 55 cm2/Vs bei Schwellspannungen von 8.0 bis -3.2 V. Darüber hinaus wurde der Einfluss der Dotierungskonzentration der p-body Schicht untersucht.