Verwendung von Siliziumdehnungssensoren für makroskopische Prüfkörper

Abstract:
Die Kraft ist eine wichtige Größe zur Bestimmung von Druck, mechanischer Spannung, Drehmoment, Beschleunigung und Masse. Dehnungssensoren, auch DMS, finden in Kraftaufnehmern, Waagen und Druckaufnehmern Anwendung. Metall-DMS sind in der Wägetechnik und zur Spannungsanalyse von Bauteilen zu finden. Halbleiter-DMS haben eine wesentlich höhere Empfindlichkeit und einen geringeren Kriecheffekte. Siliziumbasierte DMS besitzen integrierte Messbrücken. Es gibt verschiedene Si-DMS-Typen mit Vollbrücke, Einzelwiderstände, auch auf SOI-Material für hohe Temperaturen. Fügeverfahren wie Glasfrittbonden und Kleben werden zum Fügen der Si-DMS auf verschiedene Federkörper eingesetzt. Schutzschichten sichern den Si-DMS vor Feuchtigkeit, Staub und Manipulation. Der Artikel stellt einen Überblick über die verschiedenen Fügeverfahren dar.