Prädiktive Modelle für IR-Emitter in der miniaturisierten photoakustischen Gassensorik
Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress
10/23/2023 - 10/25/2023 at Dresden, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2023
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Authors:
Essing, Simon; Schrag, Gabriele (Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Technische Universität München, Deutschland)
Mittereder, Tobias; Tumpold, David (Infineon Technologies AG, Neubiberg, Deutschland)
Abstract:
Die stetig steigende Nachfrage nach kostengünstigen Luftqualitätssensoren hat den Weg für miniaturisierte Gassensoren der photoakustischen Spektroskopie (PAS) bereitet. Wir präsentieren ein Systemmodell zur Vorhersage der optischen Leistung einer wesentlichen Komponente eines PAS-Sensors, des Infrarotemitters (IR-Emitters), das geeignet ist, die Stabilität des Gesamtsystems weiter zu optimieren. Es besteht aus validierten Modellen der Subkomponenten Mikroheizer, optischer Filter und dem dazwischen liegenden optischen Pfad. Verifiziert wird es durch Messungen der Emitterleistung für Gaskonzentrationen unterhalb von 10 000 ppm im Inneren des Emitters.