Herstellung zuverlässiger elektrischer und optischer Verbindungen für Siliziumnitrid-Photonik mittels Thermokompressionsbonden

Abstract:
Es wird das Konzept eines kryptografischen Schlüsselgenerators in Form eines Multimodeinterferometers auf Basis integrierter Siliziumnitrid-Wellenleiter und MEMS-photonischer Phasenschieber vorgestellt und über die Fortschritte dessen Integration mittels Flip-Chip-Thermokompressionsbonden berichtet. Die Reproduzierbarkeit des Bondprozesses, die Qualität der optischen Kopplung und die Auswirkung eines etwaigen Versatzes zwischen Chip und Träger werden vorgestellt. Eigenfrequenz- und Beschleunigungssimulationen deuten darauf hin, dass die Anforderungen der Automobil und Raumfahrtindustrie erfüllt werden.