Rubric: Proceedings - General Proceedings
MikroSystemTechnik Kongress 2021
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VDE e.V. (Ed.)

MikroSystemTechnik Kongress 2021

Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte 08. – 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg

2021, 758 pages, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-5656-8, e-book: ISBN 978-3-8007-5657-5
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Content Foreword

Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik sind die Schlüsseltechnologien unserer Wirtschaftsbranchen, die es zu sichern und weiterzuentwickeln gilt.

Dazu bedarf es nicht nur erfolgreicher, großer und mittelständischer Industrieunternehmen, sondern auch spezialisierter und auf ihren Fachgebieten international führender Forschungsinstitute, exzellenter Ausbildungen an Universitäten und Hochschulen sowie gezielter und nachhaltiger Förderung durch die öffentliche Hand. Der MikroSystemTechnik Kongress ist seit jeher die größte nationale Fachkonferenz in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, die diese Stakeholders in einen regen Austausch bringt – mit dem Ziel, den nationalen Stand der Technik zu beleuchten und zukünftige Bedarfe und Initiativen abzustimmen und auf den Weg zu bringen. So soll es auch im Konferenzjahr 2021 wieder sein – mehr noch, in Ludwigsburg wollen wir nach der aus der Corona Pandemie 2020 verursachten Wirtschaftskrise aufzeigen, wie bedeutsam diese Schlüsseltechnologien für unsere Wirtschaftskraft und unser Gemeinwohl sind und welche Zukunftschancen sie bieten.

Wir heißen Sie hierzu herzlich willkommen in Ludwigsburg bei Stuttgart, der Hauptstadt des Landes Baden-Württemberg. Im Großraum Stuttgart haben nicht nur Weltmarktführer der Mikrosystemtechnik und des halbleitertechnischen Gerätebaus ihren Sitz, sondern hier sind vor allem auch viele der international führenden mittelständischen Unternehmen ansässig. Viele dieser Akteure engagieren sich im Netzwerk MicroTEC Südwest e.V., das sich in den Jahren 2010-2015 im Rahmen der BMBF Spitzencluster Förderung etablieren konnte.

Profitieren auch Sie von einem intensiven Austausch mit Wissenschaftlern und Ingenieuren aller Erfahrungsstufen aus den erfolgreichen Unternehmen und den exzellenten Forschungseinrichtungen in der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik in Deutschland ebenso wie mit Vertretern der involvierten Ministerien des Bundes und des Landes.

Viele der Schwerpunkte aus 2019 setzen sich 2021 fort. Die Digitalisierung erhält nach der Corona Krise 2020 einen noch höheren Stellenwert bei dezentralen Arbeitsprozessen und bei der Weiterentwicklung der Megathemen Internet der Dinge (Internet of Things), Industrie 4.0 und Künstliche Intelligenz (KI). Die Photonik und die optischen Technologien führen dabei nicht nur zu einer dramatischen Erhöhung der verfügbaren Datenraten, sondern sie ermöglichen zudem neue Anwendungen in der Mikrosystemtechnik von der Sensorik/Aktorik bis hin zu den Quantentechnologien. Die Medizintechnik profitiert ebenfalls maßgeblich von den Fortschritten in der Mikrosystemtechnik durch die Entwicklung neuer Lösungen in der Diagnostik, Point-of-Care und bei Implantaten.
Der VDE – Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V. ist einer der großen europäischen Verbände für Branchen und Berufe der Elektro- und Informationstechnik. Eine internationale Experten-Plattform für Wissenschaft, Normung und Produktprüfung – interdisziplinär, eng verflochten, und einmalig auf der Welt. Eine geballte Konzentration an Erfahrung, Marktkenntnissen und technologischem Know-how.
Search Conference Papers
1

Film transfer from thin films to metal surfaces using sol-gels, self-assembling monolayers and water glass

Authors:
Basten, Robin G.; Zawacka, Aleksandra M.; Bengsch, Sebastian; Prediger, Maren S. ; Wurz, Marc Christopher
2

Vapor HF Etching Based Surface Micromachining Process for Fabricating a Micromechanical Sterilization Cycle Counter

Authors:
Vora, Riddhesh; Spies, Irina; Hoffmann, Daniel; Trautner, Heiko; Blattert, Christoph; Dehe, Alfons
3

Efficient and cost-effective manufacturing of nanostructures with high aspect ratios using Soft UV-Nanoimprint Lithography with bi- and trilayer resist systems

Authors:
Handte, Thomas; Scheller, Nicolas; Dittrich, Lars; Thesen, Manue W.; Messerschmidt, Martin; Sinzinger, Stefan
4

Hybrider 3D-Biodruck zur künstlichen Herstellung von Knochen

Authors:
Koch, Fritz; Troendle, Kevin; Finkenzeller, Guenter; Rukavina, Patrick; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Zimmermann, Stefan
5

Integration biokompatibler Edelmetall-Elektroden-Arrays auf CMOS-Elektronik

Authors:
Thiedke, Dominik; Leopold, Steffen
6

Spritzguss von transparentem mikrostrukturiertem Quarzglas

Authors:
Mader, Markus; Kotz-Helmer, Frederik; Rapp, Bastian E.
7

Vergleich der Plasmastrukturierbarkeit von Materialien mit sehr geringer thermischer Ausdehnung

Authors:
Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen
8

GlaRA – Glasinterposer-Technologie zur Realisierung hochkompakter Elektroniksysteme für Hochfrequenzanwendungen (160 GHz)

Authors:
Kroehnert, Kevin; Woehrmann, Markus; Schiffer, Michael; Friedrich, Georg; Starukhin, Dzmitry; Schneider-Ramelow, Martin; Mayer, Winfried; Chaloun, Tobias; Galler, Thomas; Waldschmidt, Christian; Schulz-Ruhtenberg, Malte; Ambrosius, Norbert; Hansen, Ulli
9

Neue Aufbau- und Verbindungstechnik für die Kontaktierung leistungselektronischer Bauteile Ergebnisse aus dem BMBF-Förderprojekt ThermoFreq

Authors:
Nachtigall-Schellenberg, Christian; Wilke, Klaus
10

3D-gedruckte PEEK Formeinsätze für das Mikropulverspritzgießen

Authors:
Hanemann, Thomas; Antusch, Steffen; Baumgaertner, Siegfried; Bonk, Simon; Klein, Alexander; Walter, Heinz; Wilhelm, David
11

Innovative Herstellung flexibler Folienleiterplatten durch Flip-Chip Bonden gedünnter Chips mittels Nanodrähten

Authors:
Albrecht, Bjoern; Passlack, Ulrike; Harendt, Christine; Weissenborn, Florian; Quednau, Sebastian; Birlem, Olav; Burghartz, Joachim
12

CuO/Al reactive multilayers as internal heat source for wafer bonding

Authors:
Vogel, Klaus; Roscher, Frank; Braun, Silvia; Zimmermann, Sven; Wiemer, Maik; Kuhn, Harald
13

Combining MEMS with ASIC and raw wafer production

Authors:
Majoni, Stefan; Stahl, Heiko
14

Bestimmung der Himmelsrichtung mittels Präzisions-MEMS-Gyroskop in einem kompakten Gerät

Authors:
Buelz, Daniel; Weidlich, Sebastian; Konietzka, Stefan; Motl, Tim; Forke, Roman; Hiller, Karla; Kuhn, Harald
15

Optimization of a High-g Acceleration Sensor for Crash-test Application

Authors:
Srivastava, Ananya; Rockstroh, Jan; Dehe, Alfons
16

Low-Redundancy Realization of Safety-Critical Automotive Functions

Authors:
Barner, Simon; Matthes, Stefan; Dormann, Holger; Schingale, Angelika; Kaulfersch, Eberhard; Eichhorst, Michael; Scheiter, Lutz; Schmidt, Holger; Gebert, Juergen
17

Solid-State LiDAR: MEMS Spiegel für die Umgebungssensorik zum sicheren autonomen Fahren

Authors:
Grahmann, Jan; Schroedter, Richard; Kiethe, Oliver; Todt, Ulrich; Blasl, Martin
18

ScaleIT Skalierbarer Zugang zu industriellen Apps für den produzierenden Mittelstand

Authors:
Doerr, Roland; Neuy, Christine
19

Sensornahe KI - Systembaukasten erlaubt ressourceneffiziente Anpassung der KI-Hardware

Authors:
Burwick, Christian; Deuble, Thomas; Epple, Steffen
20

On-site Multi-Class Feature Selection for Online Classification of Switchgear Actuations in the Distribution Grid

Authors:
Nicolaou, Christina; Mansour, Ahmad; Van Laerhoven, Kristof
21

Nachhaltigkeit in der Elektronik – Eine Bestandsaufnahme

Authors:
Kerbusch, Jochen; Gaass, Markus; Fiehler, Vera; Wenzel, Marita; Zehm, Antje
22

Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie

Authors:
Hoffmann, Martin; Schmitt, Philip; Zimmermann, Sven; Stöckel, Chris; Forke, Roman; Geneiß, Volker; Wittemeier, S.; Hedayat, Christian; Hilleringmann, Ulrich; Kuhn, Harald
23

Mikrosysteme zur Messung von Haftreib- und Gleitreibfaktoren an DRIE geätzten Seitenwänden bei hohen Normalkräften im mN-Bereich

Authors:
Mehner, Hannes; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
24

Robuster, thermischer Strömungs- und Konzentrationssensor basierend auf Anemometrie und der 3Omega-Methode

Authors:
Bernhardsgrütter, Ralf; Hepp, Christoph; Schmitt, Katrin; Wöllenstein, Jürgen
25

Damped silicon microprobes for high-speed roughness measurements

Authors:
Fahrbach, Michael; Ombati Nyang'au, Wilson; Domanov, Oleg; Schwalb, Christian H.; Xu, Min; Li, Zhi; Kuhlmann, Christian; Brand, Uwe; Peiner, Erwin
26

How data-driven approaches can increase the accuracy of LED reliability predictions

Authors:
Benkner, Simon; Klir, Stefan; Herzog, Alexander; Khanh, Tran Quoc
27

Analysis of volatile compounds by nanoelectromechanical photothermal infrared spectroscopy with picogram sensitivity

Authors:
Luhmann, Niklas; Pliessnig, Raphael; Willert, Christoph; Lafleur, Josiane P.; Schmid, Silvan
28

Navigating Automatic Test Equipment Production in changing times and times of uncertainty

Authors:
Saidani, Fida
29

Analysis of Inertial Sensor Frontend Inherent ESD Immunity

Authors:
Elsobky, Mourad; Leube, Carsten; Alpert, Thomas; Mayer, Thomas
30

Silver sintering: New Materials for die and substrate attach in high power applications

Authors:
Rabay, Battist; Papathanasiou, Niklas
31

Microoptics for flat display backlighting

Authors:
Streppel, Ulrich; Widholz, Georg
32

Infrarot-Detektoren in "Ge-on-Si"-Technologie für Spektrometer- und Nachtsichtkamera-Anwendungen

Authors:
Kaschel, Mathias; Yu, Zili; Epple, Steffen; Burghartz, Joachim; Oehme, Michael; Schulze, Jörg
33

Fabrication of integrated poly-silicon wave guides for mid-infrared absorption spectroscopy using the evanescent field

Authors:
Stocker, Gerald; Consani, Cristina; Thakkar, Pooja; Tortschanoff, Andreas; Fleury, Clement; Puehringer, Gerald; Jannesari, Reyhaneh; Saeidi, Parviz; Grille, Thomas; Kovatsch, Christoph; Bartl, Ulf; Aschauer, Elmar; Jakoby, Bernhard
34

Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen

Authors:
Mutschall, Doris; Kaiser, Alena; Lehmkau, Robin; Ebermann, Martin; Neumann, Norbert; Mart, Clemens; Eßlinger, Sophia; Neuber, Markus; Weinreich, Wenke; Hiller, Karla; Seiler, Jan; Großmann, Toni D.; Shaporin, Alexey; Günther, Wolfgang
35

Pressure Sensor Catheter based on piezoelectric actuated Aluminum Nitride Membrane and Fiber Tip Fabry-Perot-Interferometer

Authors:
Friedemann, Marvin; Voigt, Sebastian; Kriebel, David; Meinel, Katja; Stoeckel, Chris; Hecker, Raoul; Hiller, Karla; Mehner, Jan
36

Integrierter, digital steuerbarer Abwärtswandler, Submount zur Kühlung mit integrierter Sensorik und angepasste Optik zum Betrieb von UV-LEDs

Authors:
Heinze, Christoph; Frisch, Malte; Ortlepp, Thomas; Brodersen, Olaf
37

Precise position determination with digital sensor arrays

Authors:
Voss, Andreas; Bartos, Axel
38

Monolithic integration of in-plane hybrid III-V/Si photonic devices

Authors:
Scherrer, Markus; Tiwari, Preksha; Trivino, Noelia Vico; Mauthe, Svenja; Wen, Pengyan; Schmid, Heinz; Moselund, Kirsten Emilie
39

Machine Learning for Mathematical Modelling of Piezo Hysteresis

Authors:
Buechi, Roland
40

Integration von Siliziumdurchkontaktierungen (TSV) als via-last Ansatz in dauerhaft gebondete Waferverbünde

Authors:
Berthold, Teresa; Tavassolizadeh, Ali; Kuhnt, Christian; Weidner, Thomas; Mehner, Hannes
41

Implementation of Fragile Holding Structures for Rotating Elements in the Printing Process of 2-Photon-Polymerization

Authors:
Gehlken, Wiebke; Reede, Sina; Vellekoop, Michael J.
42

Chip Integration in Thin Film Sensor Flex – Technology Developed within the “FLEXMAX” project

Authors:
Kaiser, Alexander; Matej, Paul; Herbort, Christian; Lang, Robert; Pursche, Oliver; Ruess, Karin; Keim, Uwe; Hanka, Kevin; Abel, Martin; Passlack, Ulrike; Harendt, Christine; Burg, Benjamin; Goettsche, Thorsten; Zhou, Maolei; Dietzel, Andreas
43

Development of a Polyimid Membrane for Electromagnetic Middle- Ear Actuators

Authors:
Glukhovskoy, Anatoly; Mueller, Eileen; Prediger, Maren S.; Maier, Hannes; Wurz, Marc Christopher
44

Development of a hybrid microsystem for acquisition of sterilization cycles

Authors:
Hoffmann, Daniel; Trautner, Heiko; Spieth, Sven; Herrlich, Simon; Pagel, Kenny; Dehe, Alfons
45

Sensorsystem zur Erkennung schwerer Verläufe von Infektionskrankheiten am Beispiel COVID-19

Authors:
Scholles, Michael
46

An Integrated FOPP Detector for Β Cell Function Monitoring

Authors:
Yu, Zili; Scherjon, Cor; Kraushaar, Udo; von Metzen, Rene P.; Burghartz, Joachim N.
47

Magnetoresistive Sensoren für die patientennahe Labordiagnostik

Authors:
Hölzl, Joachim; Slatter, Rolf
48

Experimental Characterization Method for Passive Microvalves in Diaphragm Pumps for Medical Applications

Authors:
Gruenerbel, Lorenz; Leikam, Barbara; Schrag, Gabriele
49

Fertigung und Charakterisierung eines drahtlosen Retina-Implantats auf flexiblen Substraten

Authors:
Knoll, Thorsten; Velten, Thomas; Stracke, Frank; Le Harzic, Ronan; Olsommer, Yves; Meiser, Ina; Jaeger, Tino; Rammensee, Michael; Kurz, Oliver; Klesy, Stephan; Januschowski, Kai; Schulz, Andre; Szurman, Peter
50

Integrierte optoelektronische Systeme basierend auf hochempfindlichen Einzelphotonendetektoren für optogenetische Anwendungen

Authors:
Singer, Julian; Geläschus, Anton; Schuster, Christian; Trieu, Hoc Khiem; Kuhl, Matthias
51

“Safety Valve”: A Metal-Based, Self-Securing Switchable Microvalve for Medical Applications

Authors:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Hoelzl, Wolfgang; Schrag, Gabriele
52

Microfluidic organ-on-chip system for monitoring 3D breast cancer stem cell cultures

Authors:
Dornhof, Johannes; Kieninger, Jochen; Muralidharan, Harshini; Maurer, Jochen; Urban, Gerald A.; Weltin, Andreas
53

Rapid-Prototyping-Plattform für μ-Total-Analysesysteme

Authors:
Serout, Anne; Podbiel, Daniel; Bott, Hannah; Kadic, Samir; Hoffmann, Jochen; Laermer, Franz
54

Hoch-sensitive und vollautomatisierte Quantifizierung von zirkulierenden epithelialen Tumorzellen aus Vollblut

Authors:
Kadic, Samir; Du, Tianxing; Roth, Astrid; Dörr, Aaron; Knapp, Michael; Hoffmann, Jochen; Serout, Anne; Strehle, Steffen; Lärmer, Franz
55

Whispering Gallery Resonators with diffractive coupling elements

Authors:
Behrens, Arne; Fesser, Patrick; Bosch, Marti; Hentschel, Martina; Sinzinger, Stefan
56

Miniaturized Infrared lenses by wafer bonding technologies

Authors:
Kulkarni, Amit; Laske, Norman; Schulz-Walsemann, Arne-Veit; Kuehl, Anja; Hagge, Juergen; Meyenburg, Ingo; Quenzer, Hans-Joachim
57

Athermal electro-optic trimmable waveguide design

Authors:
Vermeer, Matthias Leander; Alhareeb, Nadeem Khargan; Trieu, Hoc Khiem; Lipka, Timo
58

Design of a 3D Compact Hybrid Photonic Crystal Surface Plasmon Taper

Authors:
Jannesari, Reyhaneh; Stocker, G.; Grille, T.; Tortschanoff, A.; Jakoby, B.
59

Fabrication and Characterization of Sensitive Piled Semiconductor Diodes as Mid-Infrared Pyro-Detectors

Authors:
Kovatsch, Christoph; Bartl, Ulf; Grille, Thomas; Fant, Andrea; Zangl, Hubert; Ostermann, T.; Aschauer, Elmar; Stocker, Gerd
60

GaN-based pressure sensor for harsh environments with on-chip temperature compensation

Authors:
Moser, Matthias; Scherjon, Cor; Pradhan, Mamta; Alomari, Mohammed; Burghartz, Joachim
61

Mechanical cooling of AFM cantilevers

Authors:
Ignat, Ioan; Schuster, Bernhard; Hafner, Jonas; Kwon, MnHee; Platz, Daniel; Schmid, Ulrich
62

Breitbandiger Transceiver ASIC für heteronukleare NMR-Spektroskopie

Authors:
Dreyer, Frederik; Krüger, Daniel; Anders, Jens
63

Microfabricated 2D array of ion traps

Authors:
Dietl, Matthias; Auchter, Silke; Milow, Ida; Roessler, Clemens; Blank, Oliver; Valentini, Marco; Holz, Philip; Schindler, Philipp; Monz, Thomas; Blatt, Rainer
64

Mechanischer 3-Bit Digital-Analog-Wandler (DAC) mit großem Stellweg

Authors:
Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
65

Miniaturized annular arrays for focused ultrasound

Authors:
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro G.; Reitz, Sven; Scharf, Patrick; Ernst, Daniel; Wolf, Mario
66

Kick & Catch: elektrostatisches Rotieren einer Kugel

Authors:
Farny, Mario; Hoffmann, Martin
67

MEMS for characterization of thermal conductivity in thin films and two-dimensional materials

Authors:
Jiang, Felix; Ryu, Meguya; Morikawa, Junko; Pachauri, Vivek; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang
68

Origami-Basierte Mikroaktorik

Authors:
Seigner, Lena; Bezsmertna, Olha; Fähler, Sebastian; Kohl, Manfred
69

Quality Factors of MEMS Plate Modes in Fluids

Authors:
Gesing, Andre; Platz, Daniel; Schmid, Ulrich
70

Cell transport using piezoelectric micro diaphragm pumps

Authors:
Bussmann, Agnes; Thalhofer, Thomas; Daum, Leopold; Richter, Martin; Hayden, Oliver
71

Feldexpositionskonformer induktiver 13,56 MHz-Energie-Harvester für tief implantierte medizinische Systeme

Authors:
Faragalla, Mohamed; Krautschneider, Wolfgang; Kuhl, Matthias
72

Performance of magnetically driven MEMS piezoelectric energy harvester and its application as a transducer for a near zero-power wake-up

Authors:
Dankwort, Torben; Gojdka, Bjoern; Nowak, Marc Alexander; Bodduluri, Mani Teja; Gruenzig, Sven; Ahmed, Minhaz; Lofink, Fabian
73

Mikrogefertigter Multi-Frequenz-Ultraschallwandler für die Implantat-zu-Implantat-Kommunikation

Authors:
Velten, Thomas; Oevermann, Jorge; Weber, Peter; Sossalla, Adam; Knoll, Thorsten; Kebkal, Konstantin; Bannasch, Rudolf
74

Einstellbare Prismen mit Glas-Luft Interface: Ein Vergleich verschiedener Aktuierungsmethoden

Authors:
Weber, Pascal M.; Lemke, Florian; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike
75

MEMS Speaker Modeling

Authors:
Clerici, Andrea Rusconi
76

Direktabgeschiedene Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen für erhöhte Temperaturen

Authors:
Ottermann, Rico; Klaas, Daniel; Dencker, Folke; Hoheisel, Dominik; Rottengatter, Peter; Kruspe, Thomas; Wurz, Marc Christopher
77

Mikromechanischer Konstant-Kraft Taster zur Stimulation und Analyse von Zellen

Authors:
Thewes, Anna Christina; Schmitt, Philip; Löhler, Philipp; Hoffmann, Martin
78

Neue Optopackaging-Konzepte mit elektrischen Durchführungen und Optik-Mikromontage mittels Laserdirektlötung

Authors:
Stenchly, Vanessa; Reinert, Wolfgang
79

Transparente Fotodiode für ein Stehende-Wellen-Interferometer

Authors:
Moeller, Christian; Klein, Thomas; Brandel, Julia; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas
80

Piezoceramic Mounting Process and Adapted Pretension for Improved Microvalve Functionality and Reliability

Authors:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Guentner, Sophia; Kibler, Sebastian
81

Standardization of test particles by trial-based approximation of the damaging potential of manufacturing swarfs

Authors:
Piotter, Volker; Plewa, Klaus; Klein, Alexander; Brag, Patrick; Hertzfeldt, Mirko; Umbach, Sascha
82

Hochdynamischer linearer CMOS Bildsensor auf Basis von Selbst- Reset Pixelzellen und Pinned-Photodioden

Authors:
Hirsch, Stefan; Strobel, Markus; Scherjon, Cor; Yu, Zili; Zhang, Yipin; Burghartz, Joachim
83

Herstellung von TXRF-Kalibrierproben mittels Atomlagenabscheidung (ALD) und Fotolithografie

Authors:
Schulz, Norbert; Zolotaryov, Andriy; Trieu, Hoc Khiem
84

Miniaturisierte Einkoppeloptik für SNSPDs

Authors:
Möller, Christian; Schildhauer, Tony; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas
85

Miniaturisierung hochsensitiver, hitzdrahtbasierter Massenflusssensoren mit Hilfe von Halbleiterfertigungstechnologie

Authors:
Seidl, Martin; Schrag, Gabriele; Tumpold, David; Klein, Wolfgang
86

A novel concept for piezoelectric actuation of tunable silicone membrane lenses

Authors:
Bettaswamy, Hitesh Gowda; Wallrabe, Ulrike
87

Exploring the advantages of acoustic power transfer using 1-3 composite transducers

Authors:
Kar, Bibhu; Wallrabe, Ulrike
88

Development of a Fresnel mirror with tunable phase shift and mirror angle

Authors:
Bruno, Binal Poyyathuruthy; Grunwald, Ruediger; Wallrabe, Ulrike
89

On the Design of Pseudo Resistors in Biomedical CMOS Circuits

Authors:
Lausen, Timo; Jusko, Benjamin; Kiyan, Tuba; Keil, Stefan; Thewes, Roland
90

Dielectric Properties of Plasma Oxides for Microfabricated Ion Traps

Authors:
Zesar, Alexander; Schoenherr, Helmut; Sieberer, Michael; Seebacher, David; Roessler, Clemens; Schueppert, Klemens; Aschauer, Elmar; Hadley, Peter
91

Two-Photon Lithography Parameter Study for Manufacturing of Acoustic Metamaterials on MEMS

Authors:
Schweiger, Severin; Melnikov, Anton; Koch, Sandro G.; Schenk, Harald
92

Hybride Packaging-Lösung für Elektrochemische Sensoren

Authors:
Steinmaßl, Matthias; Boudaden, Jamila; Hell, Waltraud; Kutter, Christoph
93

Additive Fertigung, Laserdirektstrukturierung und chemische Metallisierung von Duroplasten: Material- und Prozessentwicklung

Authors:
Pfeifer, Christoph; Vieten, Tobias; Jung, Judith; Gläser, Kerstin; Hanemann, Thomas
94

Additive Fertigung von Polysilazan als präkeramisches Polymer für die Herstellung von passivierenden Dünnschichtkontakten für Solarzellen

Authors:
Qazzazie-Hauser, Afnan; Honnef, Kirsten; Hanemann, Thomas
95

Qualification of the Barrier Properties of ALD-coated Polymer Films with Humidity Sensors

Authors:
Simon, Nicolai; Passlack, Ulrike; Stieglitz, Thomas; Blendinger, Felix; Bucher, Volker
96

Thermisch leitfähige Polymer-Keramik-Komposite für den Tintenstrahldruck

Authors:
Graf, Dennis; Jung, Judith; Hanemann, Thomas
97

Bleifreie Bariumtitanat-Piezokeramik dargestellt durch elektrophoretische Abscheidung auf Graphitelektroden

Authors:
Ketterer, Ines; Yang, Cheng-Kang; Frey, Marco; Wapler, Matthias; Hanemann, Thomas
98

Evaluation of a low-temperature fabrication technology for silicon-ceramic composite substrates

Authors:
Mohr-Weidenfeller, Laura; Gropp, Sebastian; Azizy, Raschid; Mueller, Bjoern; Guenther-Mueller, Sarah; Bucklitsch, Paul; Mueller, Jens; Strehle, Steffen
99

Modeling and Manufacturing of an Electrostatically Driven Actuator for Micropumps

Authors:
Leistner, Henry; Anheuer, Daniel; Bosetti, Gabriele; Schrag, Gabriele; Richter, Martin
100

Optimierung und Einsatz einer Heizer-Isolationsschicht aus Polyimid für die Kryofixation in PDMS-Mikrokanälen

Authors:
Thiem, Daniel B.; Lamberz, Christian; Szabo, Greta; Burg, Thomas P.
101

Direktes Schreiben von magnetischen Mikroaktoren

Authors:
Geid, Nicolas; Prucker, Oswald; Rühe, Jürgen
102

Large deflection of electrostatically actuated microbeams – How do the bending modes contribute beyond pull-in?

Authors:
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann A. G.; Monsalve, Jorge M.; Wall, Franziska; Stolz, Michael; Mrosk, Andreas; Langa, Sergiu; Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert
103

Beeinflussung des Schallfeldes durch Housing von Kapazitiven Mikromechanischen Ultraschallwandlern (CMUTs)

Authors:
Köble, Sören; Schweiger, Severin; Koch, Sandro G.
104

Effect of Surface Roughness on the Adhesion of PECVD coated Silicon-Carbide Thin-films on (110) monocrystalline-Silicon Wafer

Authors:
Khazi, Isman; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich
105

Maskless pattern transfer into photostructured glasses by deep plasma etching

Authors:
Weigel, Christoph; Brokmann, Ulrike; Raedlein, Edda; Strehle, Steffen
106

Effiziente Plasmastrukturierung komplexer Gläser mit polymeren Resistmasken durch statistische Versuchsplanung

Authors:
Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Akkad, Mohammad; Strehle, Steffen
107

Ein auf ferroelektrischer Polarisationsinversion in AlScN basierender Doppellagen MEMS-Aktuator

Authors:
Kreutzer, Tom-Niklas; Fichtner, Simon; Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian
108

Processing method of thin metal-polymer laminate membranes and transfer to cylindrically shaped substrates for flexible sensors

Authors:
Sittkus, Benjamin; Mescheder, Ulrich M.; Urban, Gerald
109

Finite element simulations of the electrochemical double layer structure under microscopic probes of various geometries

Authors:
Kuemmerle, Maxim; Hoermann, Johannes L.; Greiner, Andreas
110

Vier-Level-Mikro-Via-Technologie (4LμV) für die ASIC-Integration in aktive flexible Sensorfolien

Authors:
Zhou, Maolei; von der Heide, Chresten; Passlack, Ulrike; Hanka, Kevin; Harendt, Christine; Kaiser, Alexander; Dietzel, Andreas
111

Assembly of Single-nanowires by Combining Soft Transfer and Surface Controlled Contact Printing

Authors:
Salimitari, Parastoo; Reuter, Christoph; Kroetschl, Anja; Strehle, Steffen
112

A microfluidic porous solid phase suitable for mass production

Authors:
Behrmann, Ole; Lisec, Thomas; Piechotta, Gundula; Gojdka, Bjoern
113

Hochenergieionen-Tiefenstrukturierung von PMMA mittels Microdegrader - eine Vergleichsstudie

Authors:
Gerold, Marcel; Mueck, Theresa; Akhmadaliev, Shavkat; Bischof, Tina; Csato, Constantin; Koch, Robert; Kraus, Matthias; Krippendorf, Florian; Maier, Tim; Zowalla, Andre; Rüb, Michael
114

Neuartige Methode zur ladungsunabhängigen Dosismessung bei Ionenimplantation

Authors:
Maier, Tim; Akhmadaliev, Shavkat; Bischof, Tina; Csato, Constantin; Gerold, Marcel; Koch, Robert; Kraus, Matthias; Krippendorf, Florian; Zowalla, Andre; Rüb, Michael
115

Heterosystem-integrated carbon nanotube sensors for on-ASIC condition monitoring

Authors:
Boettger, Simon; Dietz, Franz; Pankenin, Eric; Dahra, Nipun; Kaulfersch, Eberhard; Gromala, P.; Hermann, Sascha
116

Erweiterung des Einsatzbereiches von laserstrukturierten 3D-MID durch die Verwendung von keramischen Substratmaterialien

Authors:
Schilling, Alexander; Ninz, Philipp; Petillon, Simon; Weser, Sascha; Knöller, Andrea; Eberhardt, Wolfgang; Günther, Thomas; Kern, Frank; Zimmermann, Andre
117

Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern

Authors:
de Wall, Sascha; Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Künzler, Christoph; Diekmann, Leonard; Wurz, Marc Christopher
118

Integration of hafnium oxide - based ferroelectric data storage devices into BEoL for low-power applications

Authors:
Seidel, Konrad; Lehninger, David; Olivo, Ricardo; Ali, Tarek; Lederer, Maximilian; Kaempfe, Thomas; Mertens, Konstantin; Kuehnel, Kati; Biedermann, Kati; Maehne, Hannes; Bernert, Kerstin; Thiem, Steffen
119

Maskless Lithography and 3D Printing through photochemical C,H Insertion Crosslinking

Authors:
Song, Dan; Kotz-Helmer, Frederik; Rapp, Bastian E.; Rühe, Juergen
120

Integration of nanoporous gold electrodes in microfluidic chambers by inkjet-printing for biosensing applications

Authors:
Trotter, Martin; Juric, D.; Bagherian, Zahra; Borst, Nadine; Glaeser, Kerstin; von Stetten, Felix; Zimmermann, Andre
121

Laser Grooving – the „Swiss Army Knife“ to make the Best of a Wafer

Authors:
Gang, Andreas; Yubira, Yasuyoshi; Chervenkov, Sotir; Viehweger, Kay; Wolf, Juergen
122

Fabrication of a Low Profile Planar Transformer Using a Dual PCB Approach

Authors:
Fischer, Eike Christian; Bierwirth, Tim Nils; Dencker, Folke; Wurz, Marc Christopher
123

Magnetically Enhanced Stretchable Interconnects for Human-Machine Interface

Authors:
Ernst, Daniel; Nieweglowski, Krzysztof; Schubert, Martin; Bock, Karlheinz
124

Modifikation eines Cryo-basierten Reaktiven Ionenätzprozesses zur Herstellung von bioinspirierten Nanokonusstrukturen

Authors:
Doll, Patrick W.; Schmidt-Speicher, Leona; Bacher, Andreas; Muslija, Alban; Ahrens, Ralf; Guber, Andreas E.
125

LIFT printing of deterministic porous electrodes for electrochemical systems

Authors:
Tang, Bo; Schneemann, Christian; Rager, Korbinian; Dworzak, Alexandra; Oezaslan, Mehtap; Dietzel, Andreas
126

Raman spectroscopy as an effective tool for characterizing large-area 2D TMDs deposited from the gas phase

Authors:
Becher, Malte; Wree, Jan-Lucas; Berning, Thomas; Neubieser, Rahel-Manuela; Michel, Marvin D.; Bock, Claudia; Devi, Anjana; Ostendorf, Andreas
127

Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel

Authors:
Hoffmann, Martin; Awakowicz, Peter; Devi, Anjana; Schulze, Julian; Freyer, Benjamin; Witek, Helmut; Bock, Claudia
128

Characterization of Reactive Multilayer Systems deposited on LTCC featuring different surface morphologies

Authors:
Schulz, Alexander; Bartsch, Heike; Gutzeit, Nam; Matthes, Sebastian; Glaser, Marcus; Ruh, Andreas; Mueller, Jens; Schaaf, Peter; Bergmann, Jean Pierre; Wiese, Steffen
129

In-Memory Computing exceeding 10000 TOPS/W using Ferroelectric Field Effect Transistors for EdgeAI Applications

Authors:
Laleni, Nelli; Soliman, Taha; Mueller, Franz; Mojumder, Shaown; Kirchner, Tobias; Lederer, Maximilian; Hoffmann, Tudor; Guntoro, Andre; Wehn, Norbert; Kaempfe, Thomas
130

Thermisch und elektrisch optimiertes Leiterplatten-Prepackage für 100V/100A GaN Leistungshalbleiter

Authors:
Huesgen, Till; Sharma, Ankit Bhushan; Weimer, Julian; Koch, Dominik; Kallfass, Ingmar
131

Development of test chips for electrochemical analysis

Authors:
Hild, Olaf R.; Kurth, Eberhard; Sauer, Bodo; Graf, Alexander; Krause, Robert; Gogoi, Eshanee
132

Simulation model and dimensioning of a photoacoustic sensor for the detection of radiation-induced pressure surges

Authors:
Handte, Thomas; Bohm, Sebastian; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Mollenhauer, Olaf; Sinzinger, Stefan; Runge, Erich
133

Reliability Aspects of in-plane NED Bending Actuators in Silicon-based MEMS

Authors:
Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
134

Dimensioning and characterisation of an EWOD-driven chipintegrated micropump using time-resolved simulations

Authors:
Bohm, Sebastian; Phi, Hai Binh; Moriyama, Ayaka; Dittrich, Lars; Runge, Erich
135

An Alternative Approach to Traditional Lifetime Testing Based on Comparative Studies and Survival Analysis

Authors:
Keil, Ferdinand; Hofmann, Klaus
136

Extended concept for a MEMS and IMS based ion filter

Authors:
Graf, Alexander; Funke, Nils; Hild, Olaf R.
137

Development of a modular microfluidic bioreactor to further research the inter-cellular communication of plant cells and pathogens

Authors:
Schmidt-Speicher, Leona M.; Supp, Laura; Metzger, Christian; Ahrens, Ralf; Nick, Peter; Guber, Andreas E.
138

Transfer Printable 64 Gbps Lumped Driver for Optical Communication

Authors:
Inac, Mesut; Fatemi, Adel; Gerfers, Friedel; Malignaggi, Andrea
139

High Refractive Index Integrated Photonics on Glass Substrates

Authors:
Lipka, Timo; Bosnjak, Bojan; Alhareeb, N.; Rennpferdt, Lukas; Vermeer, Matthias L.; Blick, Robert H.; Trieu, Hoc Khiem
140

Post-CMOS Integration of AlScN based Pyroelectric Sensors

Authors:
Laske, Norman; Broeker, Sebastian; Bette, Sebastian; Soerensen, Frerk; Kulkarni, Amit; Fichtner, Simon; Maes, Ben; Van Buggenhout, Carl
141

Enhancing the performance of piezoelectric energy harvesters by integrating AlScN piezoelectric thin film

Authors:
Dankwort, Torben; Yarar, Erdem; Gruenzig, Sven; Gojdka, Bjoern; Fichtner, Simon; Lofink, Fabian
142

Supervising varroa treatment of honey bees with smart sensor systems

Authors:
Schweizer, Thomas; Senger, Diren; Johannsen, Carolin; Kluss, Thorsten; Vellekoop, Michael J.
143

Entwicklung eines skalierbaren FOWLP AiP Moduls für 5G und mm-Wellen MIMO-Anwendungen

Authors:
Mueller, Friedrich; Braun, Tanja; Le, Thi Huyen; Rossi, Marco; Schwanitz, Oliver; Ndip, Ivan; Hoelck, Ole; Becker, Karl-Friedrich; Boettcher, Mathias; Schiffer, Michael; Aschenbrenner, Rolf; Voitel, Marcus; Schneider-Ramelow, Martin; Wieland, Marcel; Goetze, Christian; Trewhella, Jean; Berger, Daniel
144

Radiation Resistant High-temperature Bolometer Sensors for Fusion Experiments

Authors:
Schmitt, Stefan; Detemple, Peter; Meister, Hans; Ingesson, Christian; Penzel, Florian; Walach, Ulrich
145

Passivierte Mikrodurchflusssensoren für leicht korrosive Medien

Authors:
Frank, Th.; Cyriax, A.; Wünscher, H.; Grün, A.; Jagomast, S.; Maier, C.; Völlmeke, S.; Herbst, S.; Ortlepp, Thomas
146

Wafer-level fabrication of an EWOD-driven micropump

Authors:
Phi, Hai Binh; Bohm, Sebastian; Runge, Erich; Strehle, Steffen; Dittrich, Lars
147

Combination of Additive and Thin-Film Technological Manufacturing for the Realization of a Pressure Sensor for Biomedical Applications

Authors:
Prediger, Maren S.; Mueller, Eileen; Bengsch, Sebastian; Wurz, Marc Christopher
148

Low-Cost Fabrication of Micro Elastofluidic Systems with Integrated 3D-Shaped Electrodes for Particle-Based Separation Processes

Authors:
Philippin, Nadine; Frey, Alexander; Kuehne, Ingo
149

Keramische Mikroreaktoren für die kontinuierliche hydrothermale Synthese (CHTS)

Authors:
Zürn, Martin; Medesi, Anna; Klein, Alexander; Schüßler, Christian; Türk, Michael; Dietrich, Stefan; Hanemann, Thomas
150

Determination of the optimal operating parameters for a FAIMS-Chip for the system integration in the human breath and urine analytic

Authors:
Funke, Nils; Graf, Alexander; Schoenfelder, Jessy; Hild, Olaf R.
151

Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-Absorption

Authors:
Schwarz, Nicolai; Klotzbuecher, Thomas
152

Development of a Micro-integrated hyperspectral imaging system

Authors:
Guenther, Thomas; Hausladen, Florian; Barth, Maximilian; Roeder, Marcel; Janek, Florian; Drossart, Dominik; Wurm, Holger; Sahakalkan, Serhat; Stock, Karl; Zimmermann, Andre
153

Flexible Ultra-Thin Chip-Film Patch for Integration of Electronic Components for Biomedical Applications

Authors:
Passlack, Ulrike; Simon, Nicolai; Bucher, Volker; Harendt, Christine; Burghartz, Joachim N.
154

Ein tragbares, automatisiertes All-in-One-Mikrofluidiksystem mit 3D-gedrucktem Chip und neuartigem Fluidsteuerungsmechanismus

Authors:
Zhang, Yushen; Tseng, Tsun-Ming; Schlichtmann, Ulf
155

Biocompatible pressure-sensitive diaphragms for medical implants

Authors:
Klein, Ann-Kathrin; Burkhardt, Claus; Stamm, Boris; Kaya, Alexander; Dietzel, Andreas
156

Δ-Kodierung zur Reduzierung der Datenrate in neuronalen Sonden mit In-Situ Δ-Σ Analog-Digital-Wandler Front-End

Authors:
Wendler, Daniel; Körber, Jan; De Dorigo, Daniel; Willaredt, Roman; Manoli, Yiannos
157

Point-of-Care System for HTLV-1 Proviral Load Quantification by Digital Mediator Displacement LAMP

Authors:
Becherer, Lisa; Hess, Jacob Friedrich; Haerpfer, Tamara; Frischmann, Sieghard; Bakheit, Mohammed; Nitschko, Hans; Stinco, Silvina; Zitz, Friedrich; Hofer, Hannes; Porro, Giampiero; Hausladen, Florian; Stock, Karl; Drossart, Dominik; Wurm, Holger; Kuhn, Hanna; Huber, Dominik; Hutzenlaub, Tobias; Paust, Nils; Keller, Mark; Strohmeier, Oliver; Wadle, Simon; Borst, Nadine; Zengerle, Roland; von Stetten, Felix
158

High dynamic range digital assay enabled by dual volume centrifugal step emulsification

Authors:
Schulz, Martin; Ruediger, Julian; Landmann, Emelie; Bakheit, Mohammed; Frischmann, Sieghard; Rassler, Daniela; Homann, Ana R.; von Stetten, Felix; Zengerle, Roland; Paust, Nils
159

Highly Modular Microsystem Inchworm Motor Based on a Nanoscopic Electrostatic Drive

Authors:
Narimani, Keyvan; Shashank, Shashank; Langa, Sergiu; Pineda Gomez, Roberto; Ruffert, Christine; Scholles, Michael; Schenk, Harald
160

Entwurf einer CMOS-integrierten, rauscharmen Stromausleseschaltung mit niedriger Eingangskapazität für die medizinische Diagnostik via biologischer Nanoporen

Authors:
Amayreh, Mohammad; Elsaegh, Samar; Butz, Natalie; Kuderer, Markus; Manoli, Yiannos
161

MEMS tools with laser diodes as integrated light sources for chronic optical stimulation of neuronal activity in brain tissue

Authors:
Sharma, Kirti; Kutsch, Anna; Paul, Oliver; Ruther, Patrick
162

Pressure Pulse Classification for Flow Disturbance Detection in Micro Diaphragm Pumps

Authors:
Thalhofer, Thomas; Heinrich, Ferdinand; Hayden, Oliver
163

Die MRD Disk: Automatisiertes Monitoring Minimaler Resterkrankung durch hochsensitive, zentrifugal-mikrofluidische Multiplex-qPCR

Authors:
Juelg, Peter; Kipf, Elena; Specht, Mara; Menges, Julian; Fillies, Marion; Eckert, Cornelia; Paust, Nils; Zengerle, Roland; Lehnert, Michael; Hutzenlaub, Tobias
164

Entwicklung eines kalorimetrischen Zweidraht-Massenflusssensors für Wasser auf Basis von Glassubstraten

Authors:
Laske, Norman; Lisec, Thomas; Knieling, Thomas; Wille, Gunnar; Blohm, Lars
165

Fiber-based optrodes Light delivery for optogenetics

Authors:
Petrovic, Jelena; Lange, Fred; Hohlfeld, Dennis
166

Femtosecond laser fabrication of a paper-based biosensor for measurement of Amitriptyline

Authors:
Builes Sanchez, Jaime Esteban; Conrad, Monika; Gauglitz, Guenter; Dietzel, Andreas
167

Lab-on-a-chip based silicon nanowire sensor system for the precise study of chemical reaction-diffusion networks

Authors:
Tintelott, Marcel; Ingebrandt, Sven; Pachauri, Vivek; Vu, Xuan Thang
168

RISC-V based SoC with integrated switched-capacitor PUF in 180 nm

Authors:
Mueller, Kai-Uwe; Stanitzki, Alexander; Fedtschenko, Tatjana; Kokozinski, Rainer
169

Energieautarker Beschleunigungssensor mit Maximalwertspeicher

Authors:
Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
170

SmartNIR - Development of a highly miniaturised NIR-spectrometer for integration into mobile devices

Authors:
Reinig, Peter; Dallmann, Hans-Georg; Kruse, Jens; Knobbe, Jens
171

Large area energy filter membranes for effective doping of silicon and silicon-carbide substrates through high-energy implantation

Authors:
Steinbach, Tamas; Akhmadaliev, Shavkat; Burghartz, Joachim N.; Csato, Constantin; Gerold, Marcel; Koch, Robert; Krippendorf, Florian; Letzkus, Florian; Rueb, Michael
172

Aufbau und Charakterisierung eines CMOS-integrierten Sensorsystems zur Messung von Verformungen

Authors:
Schumacher, Axel; Shah, Vraj; Knappmann, Stephan; Hehn, Thorsten; Dehe, Alfons
173

Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Applications in Nondestructive Testing

Authors:
Voelz, Uwe; Kircher, Marco; Koch, Sandro G.; Krenkel, Marcel
174

Closed-Loop Approach on Formal Specification for Semiconductor Test

Authors:
Schott, Christian; Mayer, Franziska; Billich, Enrico; Yazdani, Saeid; Sauppe, Matthias; Wolz, Werner; Heinkel, Ulrich
175

Siliziumdehnungssensoren zur Spannungsanalyse

Authors:
Frank, Thomas; Grün, A.; Maier, C.; Asghar, M. T.; Krieger, U.; Cyriax, A.; Hintz, Michael; Ortlepp, Thomas
176

Kinetic Energy Harvesting in a driven Tool Holder

Authors:
Wendt, Thomas; Gawron, Philipp; Stiglmeier, Lukas
177

Closed-Loop CMOS Stresskartierungssystem mit 4-Bit einstellbarer Sensitivität basierend auf 32 FET Stresssensoren

Authors:
Allinger, Kim; Kuhl, Matthias
178

Waferlevel Hermetizitätstest für Drucksensoren

Authors:
Elsinger, Georg; Sgouridis, Sokratis; Tuma, Anton; Aschauer, Elmar; Plank, Harald
179

System-Level Modeling of a Cooperative Microactuator with Free Particle Movement

Authors:
Olbrich, Michael; Schuetz, Arwed; Bechtold, Tamara; Ament, Christoph
180

Hybrid microintegrated laser modules for precision spectroscopy applications in space

Authors:
Kuerbis, Christian; Baumann, Jan; Bawamia, Ahmad; Franke, Tobias; Hahn, Alina; Kluck, Andre; Kreutzmann, Sabrina; Smol, Robert; Wicht, Andreas; Traenkle, Guenther
181

Strahlcharakteristik eines elektrostatischen, membranlosen MEMS-Ultraschallwandlers für Umgebungserfassung

Authors:
Melnikov, Anton; Marica-Bercu, Ioana; Monsalve, Jorge M.; Jongmanns, Marcel; Kaiser, Bert
182

Bayessche Justierkalibrierung eines CMOS-integrierten Hall- Temperatur-Sensorsystems

Authors:
Berger, Moritz; Schott, Christian; Paul, Oliver
183

Dealing with Clock Domain Crossing in Multiphase Clock Time-to-Digital Converters using Multiplexer Synchronizers

Authors:
Mennicke, Lukas; Hofmann, Klaus
184

Sensor-equipped microreactors: electrochemical multianalyte detection in hydrogen peroxide direct synthesis

Authors:
Urban, Sebastian; Deschner, Benedikt; Trinkies, Laura L.; Kieninger, Jochen; Kraut, Manfred; Dittmeyer, Roland; Urban, Gerald A.; Weltin, Andreas
185

Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter Interpolation

Authors:
Seybold, Jonathan; Buelau, Andre; Fritz, Karl-Peter; Zimmermann, Andre; Frank, Alexander; Scherjon, Cor; Burghartz, Joachim
186

Multi-Axis Micro Force Sensor Based on a CMOS Integrated Chip

Authors:
Folkmer, Bernd; Hehn, Thorsten; Koehler, Manuel; Willmann, Alexander; Landler-Gaertner, Daniel; Dehe, Alfons
187

Electrical properties of functional Y2O3 films applied to thin film transistors

Authors:
Berning, Thomas; Beer, Sebastian; Boysen, Nils; Devi, Anjana; Bock, Claudia
188

Development and Construction of a Parameterizable Condition Classification System for Electromagnetic Proportional Valves using Neuronal Networks

Authors:
Rossbach, Daniel; Rueb, Marcus; Kuderer, Markus; Manoli, Yiannos
189

Quantum-based position sensors for industrial applications

Authors:
Niethammer, Matthias; Dorneich, Albert; Bauer, Ralph; Baehr, Mario; Boeckenhoff, Christoph; Ritter, Ulrich; Schaefer, Roland; Wrachtrup, Joerg
190

Charakterisierung von ultradünnen Bildsensoren und heterogenen Systemintegration in Folie

Authors:
Wang, Shuo; Albrecht, Björn; Harendt, Christine; Schulze Spüntrup, Jan Dirk; Burghartz, Joachim
191

Development of Cost-Effective Automated Test System for Determining Lifetime of Gold Contacts Under Mechanical Load

Authors:
Alaboz, Hakan; Kovacs, Andras; Safa, Yasser; Mescheder, Ulrich M.
192

Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses

Authors:
Arndt, Matthias; Wurz, Marc Christopher; Dencker, Folke; Long, Yangyang; Twiefel, Jens