Fertigung und Charakterisierung eines drahtlosen Retina-Implantats auf flexiblen Substraten

Abstract:
Wir präsentieren die Fertigung und Charakterisierung von Demonstratoren einer flexiblen epiretinalen Prothese zur Therapie von Retinitis pigmentosa. Die Prothese beinhaltet ein miniaturisiertes elektronisches System, welches Energie und Stimulationsinformationen drahtlos-optisch erhält und daraus Elektrostimulationssignale generiert. Die Kombination einer flexiblen Substratfolie aus Polyimid mit einem mosaikartigen Array gedünnter Fotodioden auf Siliziumbasis ermöglicht die Herstellung von Implantaten, die sich der Krümmung des Auges anpassen. Das entwickelte Fertigungskonzept verbindet die Fertigung von Silizium-Fotodioden in Bipolartechnik mit zusätzlichen Fertigungsschritten zur weiteren mikrotechnischen Bearbeitung eines vorstrukturierten Siliziumwafers, um flexible -Substrate mit Fotodioden zu erhalten. Die so gefertigten Implantate wurden in einer Messkammer hinsichtlich des Potenzialverlaufs bei Bestrahlung mit einem Infrarotlaser getestet.