Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel

Abstract:
2D-Materialien sind eine aufstrebende Materialklasse für die Mikro- und Nanoelektronik aufgrund ihrer außergewöhnlichen mechanischen, elektronischen und optischen Eigenschaften. Sie haben sowohl für die wissenschaftliche wie auch für die industrielle Gemeinschaft unglaubliches Interesse geweckt. Eine zuverlässige 2D Technologie im industriellen Maßstab muss allerdings noch demonstriert werden, da derzeit die Präkursor-Chemie, das monolagengenaue, großflächige Wachstum, die schädigungsarme Strukturierung oder eine gezielte Grenzflächenkontrolle nur im unzureichendem Maße beherrscht wird. Das hier vorgestellte kundenspezifische Clustertool mitsamt einer interdisziplinären Forschergruppe zeigt eine Perspektive auf, diesen Herausforderungen her zu werden und die Brücke zwischen der universitären Forschung und der Wirtschaft zu spannen.