Beeinflussung des Schallfeldes durch Housing von Kapazitiven Mikromechanischen Ultraschallwandlern (CMUTs)

Abstract:
Diese Studie untersucht die Beeinflussung des Schallfeldes von luftgekoppelten kapazitiven mikromechanischen Ultraschallwandlern (CMUT) im Frequenzbereich 1,5 MHz bis 3 MHz durch das Sensor-Housing. Hierfür sind Housing-Strukturen in der Größenordnung der akustischen Wellenlänge mittels Schallfeldmessungen analysiert worden. In dieser Studie wurde erfolgreich nachgewiesen, dass bei Lochblenden ein stetiger Zusammenhang zwischen Schallleistung und Öffnungsgröße besteht, während dieser bei den Gitterstrukturen durch Interferenzen nicht mehr gegeben ist. Weiterhin konnte gezeigt werden, dass auch bei Megahertz-Ultraschallfeldern die Richtcharakteristik durch Einstellen der Gitterparameter modifiziert, und dementsprechend an die Anforderungen einer Anwendung angepasst, werden kann.