Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-Absorption

Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11/08/2021 - 11/10/2021 at Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2021

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Authors:
Schwarz, Nicolai; Klotzbuecher, Thomas (Institut für Mikrotechnik und Mikrosysteme IMM, Mainz, Deutschland)

Abstract:
Es wird ein neuer Ansatz für die Erzeugung dreidimensionaler Metall-Nanostrukturen vorgestellt, der auf der Zwei-Photonen-Absorption von fs-Laserstrahlung an Silber-Präkursormolekülen in der Gasphase beruht. Zweidimensionale Silberstrukturen mit Abmessungen im Submikrometerbereich wurden erfolgreich aus der Gasphase auf Glassubstraten abgeschieden. Zukünftige Untersuchungen zielen darauf ab, das Verfahren in die dritte Dimension zu erweitern.