Transparente Fotodiode für ein Stehende-Wellen-Interferometer
Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11/08/2021 - 11/10/2021 at Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2021
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Authors:
Moeller, Christian; Klein, Thomas; Brandel, Julia; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt, Deutschland)
Abstract:
Zwei verschiedene Konzepte für eine transparente Fotodiode zum Einsatz in einem Stehende-Wellen-Interferometer werden vorgestellt: Ein Detektor auf SOI-Material und ein Doppeldetektor auf Glassubstrat. Die Querschnitte der beiden Detektortypen werden erläutert und diskutiert. Erste Messergebnisse des SOI-Detektors werden vorgestellt.