Entwicklung eines kalorimetrischen Zweidraht-Massenflusssensors für Wasser auf Basis von Glassubstraten

Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11/08/2021 - 11/10/2021 at Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2021

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Authors:
Laske, Norman; Lisec, Thomas; Knieling, Thomas; Wille, Gunnar; Blohm, Lars (Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT, Itzehoe, Deutschland)

Abstract:
Kalorimetrische Massenfluss-Sensoren nutzen die advektive Wärmeübertragung durch ein Fluid, um auf die Flussrate durch einen definierten Strömungskanal zu schließen. Für die Bestimmung des Wasserflusses von bis zu 6 l/min in einem miniaturisierten Ozongenerator wurde eine Anordnung aus zwei Heizdrähten auf einem Glassubstrat realisiert, die durch eine einfache Wheatstonesche Messbrücke ausgelesen werden kann. Eine FEM-basierte Konzeptüberlegung führte zu einer sehr kompakten Anordnung mit geringem Leistungsumsatz bei einer Temperaturerhöhung unter 20 K.