Passivierte Mikrodurchflusssensoren für leicht korrosive Medien

Abstract:
Es existiert eine Vielzahl unterschiedlicher Prinzipien für Durchflusssensoren. Durch die Verwendung von Silizium als elektromechanischen Wandler und auch als mechanisches Strukturmaterial kommt der Passivierung gegenüber Feuchtigkeit eine besondere Bedeutung zu. Neben den korrosiven Effekten auf den Medien zugewandten Oberflächen sind besonders für miniaturisierte Varianten vor allem die Wasseraufnahme der Häusungen sowie elektrische Effekte verantwortlich. Mögliche Passiervierungen wurden evaluiert. Es zeigte sich, dass durch Atomic Layer Deposition (ALD) abgeschiedene Oxidschichten verwendet werden können, während Parylen und Diamantschichten dafür nicht geeignet sind. Aufbau und Passivierung miniaturisierter piezoresistiver Cantilever und Drucksensoren als Komponenten in der Strömungsmessung werden vorgestellt.