Effiziente Plasmastrukturierung komplexer Gläser mit polymeren Resistmasken durch statistische Versuchsplanung

Abstract:
Maßgeschneidete Eigenschaften von Gläsern lassen sich über deren Zusammensetzung und Glasstruktur in weiten Bereichen einstellen. Das stellt hohe Anforderungen an die Strukturierung und die Maskierung. Für das Tiefenätzen werden dabei hauptsächlich Plasmaätzprozesse mit einem hohen physikalischen Anteil in Kombination mit zeit- und kostenaufwändig herzustellenden Hartmasken angewandt. Prozesse mit polymeren Masken erreichen bislang eine geringe Selektivität im stark exothermen Ätzprozess. Mittels statistischer Versuchsplanung wird der Einfluss von Plasmaätzparametern in Kombination von kostengünstig herzustellenden Masken aus Dicklack auf die Parameter Ätzrate, Oberflächenrauheit, Selektivität und Flankenwinkel untersucht. In ersten linearen Modellgleichen können bereits Haupteinflussparameter identifiziert werden. Zukünftig sollen mit Hilfe weiterer Versuche Nichtlinearitäten und weitere Einflussparameter in die Modelle integriert werden.