VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Ed.)
GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration
Beiträge des 8. GMM-Workshops 15. – 17.09.2020, Online-Veranstaltung
GMM-Fachberichte
2020, 88 pages, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-5326-0, e-book: ISBN 978-3-8007-5327-7
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Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie
• elektronische Komponenten verkleinern,
• neue Funktionalitäten ermöglichen,
• Eigenschaften wesentlich verbessern,
• Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen,
• den Energiebedarf senken,
• und bei der Systemintegration und der AVT helfen.
Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären:
• Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert?
• Welche Fertigungsverfahren werden genutzt?
• Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen?
• Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden?
• Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden?
Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.
Die GMM hat die Aufgabe, die wissenschaftliche und technische Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem-, Nano- und Feinwerktechnik sowie deren breite Anwendungen zu fördern. Sie initiiert den dazu erforderlichen Dialog zwischen Herstellern, Anwendern und Wissenschaft und bildet ein Forum für Diskussionen über diese Techniken in der Öffentlichkeit. Die GMM vertritt die Belange der in ihr vertretenen Arbeits- und Fachgebiete gegenüber politischen Entscheidungsträgern und bringt ihre Fachkompetenz in die Gestaltung der Förderpolitik ein.