Anwendung von metallischen Feldemittern basierend auf Mikro-Nano-Integration in der kryogenen Vakuummessung
Conference: Mikro-Nano-Integration - 8. GMM-Workshop
09/15/2020 - 09/17/2020 at Online
Proceedings: GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
Authors:
Bieker, Johannes; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird der aktuelle Stand der Forschung an Feldemitter-basierten Elektronenquellen für den Einsatz in kryogenen Ultrahochvakuum-Umgebungen dargelegt. Dabei werden die geltenden Anforderungen für einen Einsatz in Schwerionensynchrotron SIS100 des FAIR erläutert, das Herstellungsverfahren der als Feldemitter verwendeten metallischen Nanokonen vorgestellt und die Modellierung und Optimierung entsprechender Elektronenquellen beleuchtet. Zudem werden neuste Ergebnisse aus Feldemissionsmessungen von Elektronenquellen mit metallischen Nanokonen präsen-tiert.