Laserinduzierte periodische Oberflächenstrukturen auf Basis von Molybdänsiliziddünnschichten

Abstract:
150 nm dicke Molybdänsilizidschichten auf Silizium wurden mit einem Ultrakurzpulslaser bearbeitet. Es konnten systematisch auf der Oberflächen der Metallschicht Strukturen erzeugt werden, die in Abhängigkeit der Vorkonditionierung der Molybdändisilizidschichten (getempert/ungetempert) für verschiedene Laserparameter unterschiedliche Ausprägungen haben. Die Art und Höhe der ausgebildeten Oberflächenstrukturen ist im Wesentlichen abhängig von der Laserfluenz. Bei einigen Strukturen konnte eine Entmischung von Mo und Si festgestellt werden.