Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS
Konferenz: edaWorkshop 14 - Tagungsband
13.05.2014 - 14.05.2014 in Hannover, Germany
Tagungsband: edaWorkshop 14
Seiten: 7Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Nowak, Jacek (Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Deutschland)
Klaus, Jenny; Karolewski, Dominik; Sommer, Ralf (Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau, Deutschland)
Inhalt:
Mit Hilfe einer durchgängigen MEMS-Entwurfsmethodik können die aktuellen Lücken beim Entwurf multiphysikalischer Systeme überwunden werden. Hierdurch werden weitere Perspektiven für die Entwurfsunterstützung von Sensor-Aktor-Systemen zur Verfügung gestellt. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über die Anforderungen und Lösungsansätze für einen integrierten MEMS-Design-Flow.