Ein universeller Ansatz zur Beschreibung von Prozessvariationen mit beliebig verteilten Modellparametern

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Ein wichtiger Bestandteil in Entwurf und Analyse integrierter Schaltungen ist die Berücksichtigung von Prozessvariationen, denn derartige Effekte induzieren während der Herstellung zeitinvariante Unterschiede im Verhalten der Bauelemente und damit auch in den Eigenschaften der jeweiligen Schaltung. Häufig werden Annahmen getroffen und Vereinfachungen vorgenommen, um dieser Problemstellung zu begegnen. So verwenden Corner-Ansätze lediglich extreme Parameterkombinationen, oder Parameter werden als normalverteilt angenommen. Dieser Beitrag stellt einen Ansatz zur Modellierung von Prozessvariationen vor, der unabhängig von der Abstraktionsebene nichtnormalverteilte und korrelierte Größen unterstützt. Die Anwendungen auf BSIM4-Kompaktmodelle aus einer Simulationsstudie und eine Standardzelle in einer 28-nm-Technologie unterstreichen die Notwendigkeit und Möglichkeiten dieser Herangehensweise.