Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen

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Am Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden werden anwendungsspezifische Flächenlichtmodulatoren (Spatial Light Modulators, SLM) auf Basis von hochintegrierten Mikrospiegelarrays entwickelt und in Pilotfertigung hergestellt. Die IPMS-Mikrospiegelmatrizen bestehen je nach Anwendung aus bis zu einer Million einzeln analog adressierbarer Spiegel. Sie können mit einer Bildrate von bis zu 2 kHz betrieben werden. Derart hohe Spiegelanzahlen erfordern monolithische oder heterogene Höchstintegration von Ansteuerelektronik und Aktuatorik. Kippspiegel und Senkspiegel definieren zwei grundlegende Aktuatorkategorien. Derzeitiges Hauptanwendungsgebiet der IPMS-Kippspiegelbauelemente ist der Einsatz als hochdynamische programmierbare Maske für die DUV-Lithographie; die feinsegmentierten Senkspiegelmatrizen finden Anwendung in der adaptiv-optischen Phasensteuerung, z.B. zur Korrektur optischer Abbildungsvorgänge.