Miniaturisierter kalorimetrischer Strömungssensor auf der Basis mikrostrukturierbaren Glases

Inhalt:
Der von der IST- AG (Schweiz) entwickelte Mikroflowsens ist ein kalorimetrisch arbeitender Strömungssensor auf einem mikrosystemtechnisch hergestellten Glassubstrat mittels Fotolithografie und Glasätztechnologie. Eine im Waferstatus auf das ungeätzte Glassubstrat aufgebrachte zentrifugal verteilte Polyimidschicht erhält mittels Dünnschichttechnologie aufgebrachte Platinwiderstandsstrukturen, die als Mikroheizer in einer Wheatston- Brücke angeordnet sind. Der nachfolgende Lithografieprozess erzeugt eine freiliegende mikrostrukturierte Polyimid- Membran von wenigen Mikrometern Dicke, deren Oberfläche die resistive Sensoranordnung enthält.