Elektrostatisch angetriebenes Silizium-Membranventil für Gasanalysesysteme
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Feind, Holger; Çubukçu, Ali Sükrü; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag werden das Konzept, die Herstellung und die Charakterisierung eines elektrostatisch angetriebenen Silizium-Membranventils in Mikrosystem-Technologie (MEMS) beschrieben. Das Membranventil wurde insbesondere für den Einsatz in Gasanalysesystemen, wie Flammenionisationsdetektor, Ionenmobilitätsspektrometer und Mikromassenspektrometer entwickelt. Es zeichnet sich durch einen geringen Flusswiderstand und ein hohes Fluss-zu-Leckraten-Verhältnis mit einer geringen Leckrate aus.