Aufbau und Charakterisierung eines mikro-elektromechanischen Torsionssensors für die Hochfrequenzspannungsmessung

Inhalt:
In dieser Arbeit wird ein mikromechanisch gefertigter Spannungssensor basierend auf einem Torsionsaktor in Siliziumtechnologie vorgestellt, welcher auf dem Prinzip der kapazitiven Spannungs-Kraft Wandlung basiert. Der Sensor soll es ermöglichen, in der Hochfrequenzspannungsmetrologie den quadratischen Mittelwert der Wechselspannung zu bestimmen und diesen auf eine Gleichspannung zurückzuführen. Herstellung und Aufbau des Sensors werden beschrieben, sowie Messergebnisse für das stationäre und transiente Verhalten vorgestellt. Darüber hinaus wird ein analytisches Modell für das System präsentiert.