Ordnungsreduktion als Simulationsmethode zur Berücksichtigung von Einflüssen der Aufbau- und Verbindungstechnik in der MEMS-Gesamtsystemsimulation

Inhalt:
Ordnungsreduktion ist eine Methode zur Generierung von schnell rechnenden Modellen auf Systemebene basierend auf detaillierten Finite-Elemente-Modellen. Schnell rechnende Systemmodelle erlauben die Simulation und Modellierung eines Mikrosystems vor der Fertigung und bieten die Möglichkeit die Zahl der Iterationszyklen in der Entwicklung zu verringern. Unter Zuhilfenahme der Methode der Ordnungsreduktion wurde ein Verfahren entwickelt, das Einflüsse der Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) in der Gesamtsystemsimulation berücksichtigt. Die dargestellte Methodik ermöglicht die Simulation von Temperatureinflüssen auf das Sensorausgangssignal. Dazu ist eine Kopplung des Packagemodells mit dem Modell des Transducers erforderlich. Die durchgeführten zeitabhängigen Simulationen erlauben Aussagen über Einflüsse der AVT auf Offset und Empfindlichkeit. Die Ergebnisse können in der Designphase verwendet werden um AVT-Einflüsse zu minimieren und unter vorgegebenen Randbedingungen möglichst temperaturunempfindliche Sensoren zu entwickeln.