Entwicklung eines Mikromanipulators auf Basis der Piezo-Technologie
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Götze, Holger; Pagel, Lienhard (Universität Rostock, Institut für Gerätesysteme und Schaltungstechnik, Albert-Einstein Str. 2, 18059 Rostock, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Paper präsentieren wir einen neuen piezoelektrischen Mikromanipulator auf Basis der Leiterplattentechnologie (PCB - Printed Circuit Board). Der Mikromanipulator bildet die Grundlage für einen Mikrogreifer und ein xyz – Positioniersystem. Es werden der Aufbau, die Struktur, die Funktionalität und die speziellen Eigenschaften des Manipulators beschrieben.