Kapazitiver Feuchtesensor auf flexiblem Substrat
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Bauersfeld, Marie-Luise; Rademacher, Sven; Matheis, Carsten; Wöllenstein, Jürgen (Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik, Heidenhofstrasse 8, 79110 Freiburg)
Oprea, Alexandru; Bârsan, Nicolae; Weimar, Udo (Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Auf der Morgenstelle 8, 72076 Tübingen)
Inhalt:
Für die Integration auf flexiblen RFID-Tags wurden neuartige kapazitive Feuchtesensoren entwickelt. Dazu wurden verschiedene feuchtesensitive Polymere auf flexiblen PEN- und PI-Substraten abgeschieden und charakterisiert. Mit diesen Sensoren konnte eine gute Sensitivität und Selektivität, Linearität im Feuchtemessbereich von 0% bis 100% relative Feuchte sowie akzeptable Ansprechzeiten erzielt werden. Erste funktionsfähige RFIDLabels mit integrierter Feuchte- und Temperatursensorik wurden realisiert.