Flexible taktile Sensorarrays auf Basis verschiedener piezoelektrischer Funktionspolymere
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Schwerdtner, Robert; Geßner, Thomas (Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM), Chemnitz, Deutschland)
Otto, Thomas; Schuberth, Reinhard; Bach, Duc; Geßner, Thomas (Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM), Chemnitz, Deutschland)
Wegener, Michael; Danz, Rudi (Fraunhofer Institut für Angewandte Polymerforschung (IAP), Potsdam-Golm, DE)
Inhalt:
Sensoren die Druck oder Druckänderungen in elektrische Signale umsetzen haben eine breite Anwendungsrelevanz. Funktionelle Polymere bzw. Polymer-Komposite gestatten derartige Sensoren flexibel und großflächig aufzubauen sowie bei geeigneten Elektrodenstrukturen die Realisierung von Sensorarrays. In dem vorliegenden Beitrag werden flexible taktile Sensorarrays beschrieben, die Druckänderungen erfassen. Vergleichend werden Sensorarrays mit unterschiedlichen piezoelektrischen Polymeren, Ferroelektrika und Ferroelektrete, als Funktionsschichten betrachtet. Im Detail werden die Präparation der piezoelektrischen Funktionsschichten auf Leiterplatten als Substrate, die Signalaufnahme im Sensorbetrieb basierend auf Zeilen- und Spaltenelektroden, sowie die Signalverarbeitung beschrieben.