Entwurfsumgebung für die Konstruktion von nicht siliziumbasierten Mikrosystemen

Inhalt:
In diesem Beitrag wird ein Ansatz für die Konstruktion von Mikrosystemen beschrieben, welche nicht ausschließlich in klassischer Silizium-Mikromechanik gefertigt werden. Innerhalb des SFB 516 „Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme“ werden eine Vielzahl neuer Materialien und Prozesse eingesetzt. Um das gewonnene Wissen systematisch abzulegen und die Konstrukteure in den verschiedenen Entwurfsphasen zu unterstützten, wird eine modulare Entwurfsumgebung erstellt. Dieser Beitrag beleuchtet die beiden Module wissensbasierte Validierung von Prozessfolgen und Komponentenbaukasten, die eine fertigungsgerechte Gestaltung der Mikrosysteme garantieren sollen. Das Vorgehen wird an einem Beispiel aus der Praxis erläutert.