Dynamische Modellierung von mikrostrukturierten Halbleitergassensoren
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Herm, S.; Peter, A.; Ament, Ch. (Lehrstuhl für Systemtheorie, IMTEK - Institut für Mikrosystemtechnik, Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg, Deutschland)
Inhalt:
In dem folgenden Beitrag wird ein Modell eines SnO2-Halbleitergassesnsors vorgestellt, das es ermöglicht, das dynamische Verhalten des Sensorleitwerts in Abhängigkeit der Sensortemperatur und der Luftsauerstoffkonzentration zu beschreiben. Es lässt sich einfach auf zu messende Gase erweitern und soll als Basis für eine modellbasierte Schätzung der Einzelkonzentrationen in einem Gasgemisch mit Hilfe von temperaturmodulierten Einzelsensoren dienen.