Herstellung polymergebundener Hartmagnete durch in SU-8 eingebrachtes Magnetpulver

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Für die Herstellung von Permanentmagneten, die in Mikroaktoren zum Einsatz kommen, wird bisher vor allem physikalische Abscheidung aus der Dampfphase wie Kathodenzerstäubung genutzt. Dabei ist zum Teil eine zusätzliche Wärmebehandlung bei Temperaturen von über 500Grad C nötig, um die gewünschten Eigenschaften zu erreichen. Eine Alternative dazu bietet die Herstellung mittels in Photolack eingebrachter hartmagnetischer Pulver. Damit lässt sich nicht nur die Anzahl der Prozessschritte verringern, sondern auch die Prozesskompatibilität durch Vermeidung hoher Temperaturen erhöhen.