Adaptiver Polymerspiegel zur Laserfokussierung
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Greger, W.; Jurischka, R.; Schoth, A.; Müller, C.; Reinecke, H. (Lehrstuhl für Prozesstechnologie, IMTEK-Institut für Mikrosystemtechnik, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg, Deutschland)
Arnold, D.; Wilde, J. (Professur für Aufbau- und Verbindungstechnik, IMTEK-Institut für Mikrosystemtechnik, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg, Deutschland)
Inhalt:
Gegenstand der hier vorgestellten Arbeit ist die Entwicklung eines neuartigen adaptiven Spiegels zur Laserfokussierung mit variabler Brennweite. Unser neuartiges Konzept sieht vor, eine gezielte Verformungsfunktion über eine Schichtdickenvariation des Spiegels zu erreichen. Dadurch kann auf die bei anderen Konzepten benötigten Multi-Aktor-Systeme verzichtet werden. Bei dem hier vorgestellten Spiegel kommt ein einzelner Niedervolt- Tauchspulen-Aktor zum Einsatz. Die geometrische Auslegung, insbesondere die Schichtdickenverteilung des Spiegels, erfolgt durch einen Optimierungsalgorithmus gekoppelt mit einer mechanischen FEM-Simulation. Die Geometrie des Spiegels wird mittels einer Ultra-Präzision-Fräse in ein Messing-Werkzeug gefertigt. Dieses Werkzeug ermöglichten die Herstellung von Spiegel-Funktionsmustern unter der Benutzung des Heißpräge- Prozesses. Die transparenten Kunststoff-Spiegel werden zur Verspiegelung metallisiert. Erste Deformationsmessungen verifizieren das Schichdickenvariations-Konzept sowie die mechanischen Simulationsergebnisse.