Optische Mikrosysteme beruhend auf planar-integrierter Freiraumoptik (PIFSO)

Inhalt:
Für den Einsatz optischer Verfahren in zahlreichen neuen Anwendungsbereichen stellt die Integration der Optik eine wesentliche Voraussetzung dar. Die planar-integrierte Freiraumoptik bietet eine technologische Plattform für die Realisierung kompakter dreidimensionaler optischer Systeme bei gleichzeitiger Kompatibilität mit planaren Fertigungsverfahren. Wir geben hier einen Überblick über das Konzept und die wesentlichen Aspekte zur Realisierung und Anwendung. Diese beinhalten den Entwurf und die Fabrikation der passiven Optik, die hybride Integration mit optoelektronischen, elektronischen und mikromechanischen Komponenten sowie Anwendungen aus den Bereichen Datenkommunikation, Sensorik und biomedizinische Technik.