Vollständig Integrierte Plasma Elektronenquelle für ein Mikromassenspektrometer

Inhalt:
In diesem Beitrag werden das Konzept und die Herstellung einer neuartigen und voll integrierten Elektronenquelle, realisiert durch eine Mikroplasmakammer, beschrieben. Die Elektronenquelle wurde insbesondere für den Einsatz in einem Mikromassenspektrometer (MMS) [1] entwickelt und zeichnet sich durch eine hohe Elektronenstromdichte von über 1 A/cm² sowie einen geringen Gas- und Energieverbrauch aus. Verglichen mit der Elektronenquelle aus [2], lässt sich dieses System mit Standardprozessen in Silizium realisieren und verfügt über eine hocheffiziente Einkopplung der HF-Leistung über galvanisch aufgewachsene Kupferdurchführungen.