Zuverlässigkeitskonzepte von „Mikro bis Nano“ – Neue Anforderungen und Möglichkeiten der Zuverlässigkeitsbewertung für die Mikrosystemtechnik
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Michel, B. (Fraunhofer Micro Materials Center am IZM Berlin und Chemnitz)
Inhalt:
In diesem Beitrag wird ein Überblick über die Zuverlässigkeitskonzepte und Methoden der Mikrosystemtechnik gegeben, insbesondere über neue Konzepte im Mikro-Nano-Übergangsbereich. Der Autor hat auf zahlreichen internationalen Konferenzen hierzu eingeladene Plenarvorträge gehalten und mehrere große internationale Konferenzen als Chairman oder Co-Chair organisiert und ist in mehreren Ländern und in der EU als Gutachter von Fachgremien zu Zuverlässigkeitsfragen im Mikro- und Nanotechnologiebereich tätig.