Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung

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Mikrozerspanung ist ein flexibles und schnelles Verfahren zur Herstellung von Prototypen und Kleinserien. Die Zerspanungsleistung liegt deutlich über Verfahren wie Erodieren oder elektrochemischer Bearbeitung. Auch für die Großserienfertigung können auf einfache Weise Abformwerkzeuge realisiert werden. Strukturierbar ist dabei eine breite Palette von Werkstoffen wie Polymere, Metalle und Legierungen sowie einige keramische Werkstoffe. Für Anwendungen in der chemischen Mikroverfahrenstechnik können auch exotische und als schwer zerspanbar geltende Werkstoffe wie Titan, Nickelbasislegierungen und Tantal bearbeitet werden. Um Mikrostrukturen in guter Qualität zu realisieren, sind oftmals einige Anpassung der Zerspanungsstrategie, die Auswahl geeigneter Werkzeuge und Vortests erforderlich.