Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8
Konferenz: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
07.05.2007 - 08.05.2007 in Karlsruhe
Tagungsband: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Seiten: 7Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, 64 283 Darmstadt, Deutschland)
Inhalt:
Polymere Mikrosysteme gewinnen vor allem in der Mikrofluidik, zunehmend aber auch in der Mikromechanik an Bedeutung. Hierfür kommt aufgrund seiner besonderen Eigenschaften häufig der Epoxid-basierte Negativresist SU-8 zum Einsatz. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über eine Reihe von Opferschicht-, Belichtungs- und Waferbond- Techniken zur Herstellung freitragender Strukturen aus SU-8, die für diese Anwendungen im Laufe der letzten Jahre vorgestellt wurden und beschreibt im Anschluss ausführlich die Nutzung von unvernetztem SU-8 als Opferschicht bei Verwendung einer vergrabenen metallischen Maske.