Elektrostatisch angetriebenes Mikroventil in MID-Technik
Konferenz: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik - 7. GMM/ETG-Fachtagung
12.06.2007 - 13.06.2007 in Augsburg, Deutschland
Tagungsband: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik
Seiten: 6Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Arnold, M.; Eberhardt, W. (Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institut für Mikroaufbautechnik, Allmandring 9b, 70569 Stuttgart)
Kück, H. (Universität Stuttgart, Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik, Allmandring 9b, 70569 Stuttgart)
Munz, G.; Warkentin, D. (Festo AG & Co. KG, Ruiter Str. 82, 73734 Esslingen)
Inhalt:
Mikroventile werden in unterschiedlichsten Anwendungen, wie beispielsweise der Industrieautomation, der Medizintechnik oder der Automobilindustrie eingesetzt. Durch die fortschreitende Miniaturisierung von Ventilen müssen neuartige Fertigungstechnologien erschlossen werden und bisher ungeeignet erscheinenende Aktorprinzipien werden interessant. In diesem Artikel wird deshalb der Lösungsansatz eines elektrostatisch angetriebenen Mikroventils vorgestellt, welches auf Basis der MID-Technologie (Molded Interconnect Device) in Verbindung mit Mikrospritzguss aus einer Minimalanzahl von Bauteilen realisiert wurde.