Vergleich verschiedener Antriebskonzepte für MEMS-Aktoren

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MEMS (Mikroelelektromechanisches System oder Mikrosystem)-Bauteile haben sich über die vergangenen Jahrzehnte aus der wissenschaftlichen Forschung heraus zu einem unverzichtbaren Bestandteil des täglichen Lebens entwickelt. Das Spektrum umfasst dabei u.a. Sensoren zur Detektion von Beschleunigung und Drehrate, Druck- und Umweltsensoren, sowie Oszillatoren, Ultraschallsensoren und optische MEMS. Ihnen gemein ist die gestiegene Komplexität der zugrun-deliegenden Fertigungsprozesse, während die spezifischen Anforderungen gleichwohl genau zugeschnittene Designkonzepte erfordern. Einen wesentlichen Teilaspekt dieser Designkonzepte stellt der jeweils verwendete Antrieb der mikromechanischen Strukturen dar. Der vorliegende Beitrag gibt einen Überblick über aktuelle Entwicklungen im Bereich elektrostatischer, elektromagnetischer und piezoelektrischer Antriebskonzepte für MEMS-Aktoren und vergleicht deren individuelle Eignung für verschiedene Anwendungsfelder.