Membranlose Drucksensorenfür den Einsatzbereich über 1000 MPa
Konferenz: MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress
23.10.2023-25.10.2023 in Dresden, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2023
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Autoren:
Frank, Thomas; Hermann, Stefan; Grün, André; Hanig, Danny; Kermann, Manuel; Hintz, Michael; Cyriax, Andrea (Forschungsinstitut für Mikrosensorik, Erfurt, Deutschland)
Inhalt:
Die Herstellung von Drucksensoren umfasst verschiedene Technologien und Messprinzipien, wobei das piezoresistive Prinzip am Weitesten verbreitet ist. Hierbei kommen Dickschicht- und Dünnschichtwiderstände zum Einsatz, einschließlich implantierter Silizium-Messwiderstände. Traditionelle Drucksensoren verwenden Biegeplatten zur Erhöhung der Empfindlichkeit. Silizium-Messwiderstände erreichen eine Empfindlichkeit von ca. 0,4 mV/(V * MPa Biegespannung). Für hohe Drücke, bereits ab 50 MPa, kann auf die Biegeplatte verzichtet werden. Der Artikel stellt einen Aufbau für Drucksensoren ohne Biegeplatte vor.