Waferlevel Hermetizitätstest für Drucksensoren
Konferenz: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
08.11.2021 - 10.11.2021 in Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2021
Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF
Autoren:
Elsinger, Georg; Sgouridis, Sokratis; Tuma, Anton; Aschauer, Elmar (Infineon Technologies Austria, Villach, Austria)
Plank, Harald (FELMI-ZFE, Graz, Austria)
Inhalt:
Für ein Testsystem, bestehend aus einem Drucksensor, welcher mittels eines Referenzdrucks arbeitet, und einem bewusst platzierten Defekt, wurde eine Bombierung als mögliche Verbesserung der Detektierbarkeit eines äußerst kleinen Lecks auf Waferlevel getestet. Weiters wurde eine vereinfachte Modellierung eines beobachteten Lecks vorgenommen, um Vorhersagen zum Effekt einer Bombierung treffen zu können, und um Rückschlüsse über die zu erwartenden Dimensionen des Leckpfades zu erhalten.