Ein auf ferroelektrischer Polarisationsinversion in AlScN basierender Doppellagen MEMS-Aktuator
Konferenz: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
08.11.2021 - 10.11.2021 in Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2021
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Autoren:
Kreutzer, Tom-Niklas; Fichtner, Simon (Fraunhofer Institut für Silizium Technologie (ISIT), Itzehoe, Deutschland & Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Institut für Materialwissenschaft, Kiel, Deutschland)
Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian (Fraunhofer Institut für Silizium Technologie (ISIT), Itzehoe, Deutschland)
Inhalt:
Diese Arbeit präsentiert einen piezoelektrischen Doppellagen-Stapel, basierend auf der permanenten Polarisationinver-sion in ferroelektrischen Aluminium-Scandium-Nitrid (AlScN). Hierfür wurden AlScN-Doppellagen mit einem hohen Scandiumanteil von 35 % mithilfe von reaktiven Co-Sputtern abgeschieden. Es wurde der Einfluss verschiedener Struk-turierungsmethoden (Nass- und Trocken-Ätzen) sowie der Effekt der Abscheidungstemperatur untersucht, um verbesserte piezoelektrische Eigenschaften bei gleichzeitig gesteigerter Zuverlässigkeit in einem Doppellagen-Stapel zu erreichen. Die erzeugten Strukturen wurden im Anschluss mit AlScN-Einzellagen, Aluminium-Nitrid (AlN) und Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) verglichen.