Integrierte Mikrotransformatoren auf Silizium für Hochfrequenzanwendungen

Inhalt:
In dieser Veröffentlichung werden unsere neuesten Entwicklungen auf dem Gebiet der passiven magnetischen dünn-film Komponenten vorgestellt. Hauptpunkt ist die Entwicklung von Mikrotransformatoren für Hochfrequenzanwendungen bis 50 MHz. Ein Mikrotransformator mit Kerngröße 2100 µm x 1000 µm x 5 µm und mit 9 Windungen pro Wicklung wurde als optimal ausgewählt und gefertigt. Für den Magnetkern wurde ein CZT Werkstoff verwendet und für die Windungen wurde Kupfer galvanisch abgeschieden. Die entwickelte Mikrokomponente zeigt eine Induktivität von 75 nH und wurde in 20 MHz Anwendung eingesetzt und getestet. Dabei wurde eine Effizienz von 80% erreicht.