Federdesign eines integrierten, elektrostatisch aktuierbaren Ventils hergestellt mittels 2-Photonen Polymerisation

Inhalt:
Präsentiert wird das Design eines dreidimensionalen, elektrostatischen Aktuators, der die vertikale Bewegung einer Plattform mit einem Durchmesser von 260 µm in einem mikrofluidischen Kanal ermöglicht. Die Plattform ist an drei konischen Federn mit einer Länge von je 1 mm und einem rechteckigen Querschnitt von 10 µm mal 5 µm befestigt und kann sich um 40 µm reversibel nach oben bewegen. Durch das Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der Plattform und einem leitfähigen Chipmaterial wird ein Ventil realisiert, mit dem ein mikrofluidischer Kontakt (Zufluss oder Abfluss) in dem Chip geschlossen wird. Das Ventil dient dem Abdichten einer Kammer und wird geschlossen, wenn kein Fluss anliegt.