Toleranzanalyse für photonische Kristalle aus Silizium

Inhalt:
Der Einfluss der Rauheit der Seitenwände und der Verkippung von photonischen Kristallen aus Silizium auf das resultierende Absorptionsspektrum im infraroten Spektralbereich wurde mittels Simulationen ermittelt. Dabei konnte gezeigt werden, inwiefern die Ausprägung der Ausbuchtungen der Seitenwände das Absorptionsspektrum beeinflusst. Für Verkippungen der photonischen Kristallstruktur gegenüber der Ausbreitungsrichtung des Lichtes konnten erst bei Verkippungen um mehr als 10 Grad signifikante Änderungen im Absorptionsspektrum der untersuchten Strukturen festgestellt werden.