Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015

Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF

Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt

Autoren:
Dietrich, P.-I.; Lindenmann, N.; Billah, M. R.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Koos, C. (Institut für Mikrostrukturtechnik, (IMT) und Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ), Karlsruher Institut für Technologie, Karlsruhe, Deutschland)
Wondimu, S. F.; Wienhold, T.; Steidle, M. (Institut für Mikrostrukturtechnik, (IMT), Karlsruher Institut für Technologie, Karlsruhe, Deutschland)
Hofmann, A. (Institut für Angewandte Informatik (IAI), Karlsruher Institut für Technologie, Karlsruhe, Deutschland)
Freude, W. (Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ), Karlsruher Institut für Technologie, Karlsruhe, Deutschland)

Inhalt:
Mikrodrucker basierend auf Zwei-Photonen-Polymerisation sind in der Lage dreidimensionale Freiformstrukturen mit hoher optischer Qualität herzustellen. Im vorliegenden Artikel wird die Integration solcher Mikrooptiken in bestehende optische Biosensor-Systeme gezeigt.