Zwei-Photonen-Polymerisationsprozesse auf Wafergröße
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 2Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Markweg, Eric; Petzold, Norman; Kowallik, Thomas; Mämpel, Jörg; Mollenhauer, Olaf (TETRA Gesellschaft für Sensorik und Automation mbH, Gewerbepark am Walde 4, 98693 Ilmenau, Detschland)
Inhalt:
Die Technologie der Zwei-Photonen-Polymerisation ermöglicht die Generierung von sehr kleinen Strukturen auf Nanometer-Skala. Die etablierten Verfahren begrenzen den Einsatz der Strukturen auf Forschungsmuster und Grundlagenforschung. Durch das innovative Maschinenkonzept von TETRA werden die bisherigen Grenzen gebrochen, was den Weg für eine industrielle Herstellung von dreidimensionalen Mikro- und Nanometerstrukturen bereitet.