Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin (IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau, Deutschland)
Inhalt:
Wir präsentieren einen dreiachsigen oszillierenden Mikrotaster, welcher neun elektrostatische Wandler, zwei Styli mit Antastelement und eine Federführung in einem SOI-Substrat vereint. Bestandteile dieses Papers sind die Charakterisierung des Mikrotasters und der Nachweis, dass Sticking durch eine resonante Antastung sicher vermieden wird. Während des Messbetriebs oszilliert der Mikroaster in drei Richtungen mit Frequenzen im unteren Kilohertzbereich und mit Schwingungsamplituden bis 2 µm.